Vorrichtung und Verfahren zur interferometrischen Abstandsbestimmung
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Abstandsbestimmung mittels eines interferometrischen Sensors. Der Sensor fokussiert Licht auf einen Punkt des Messobjektes. Dieses Licht wird zumindest teilweise in den Sensor zurückreflektiert, hinsichtlich seiner Phasenlage analysiert und in einen Abstandswert umgerechnet. Durch laterales Scannen des Messobjektes relativ zum Sensor lassen sich Mikrostrukturen und Formen mit hoher Genauigkeit erfassen. Da mehrere hunderttausend Abstandsmesswerte pro Sekunde ermittelt werden, können sehr hohe Messgeschwindigkeiten erzielt werden.
Weitere Informationen: PDF
GINo Gesellschaft für Innovation Nordhessen mbH
Tel.: +49 (0)561/8041984
Ansprechpartner
Dr. Heike Krömker
Der TechnologieAllianz e.V. als Verband deutscher Technologie- und Patentverwertungs-Agenturen erschließt Unternehmen das gesamte Spektrum innovativer Forschungsergebnisse nahezu aller deutschen Hochschulen und diverser außeruniversitärer Forschungsstätten. Über 2.000 verschiedene, in der Regel bereits patentierte Technologie-Angebote aus 14 Branchen stehen Unternehmen zur Verfügung, um ihnen einen Zeitvorsprung am Markt zu sichern. Unter www.technologieallianz.de bieten die Mitglieder der TechnologieAllianz einen kostenlosen, schnellen und unbürokratischen Zugang zu allen weiteren Angeboten der deutschen Forschungslandschaft ebenso wie gezielte Unterstützung zur erfolgreichen Vermittlung der Technologien.
