

Die Erfindung betrifft ein effizientes Herstellverfahren optischer Baueinheiten, die z. B. eingesetzt werden können in modernen Elektronenmikroskope, Spektroskope, Vakuumtestgeräte und Bearbeitungsvorrichtungen im Bereich der Mikrotechnologie.
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EZN Erfinderzentrum Norddeutschland GmbH
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Dipl.-Ing. Andreas Deutsch
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