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Vakuummessgerät

Das Vakuummessgerät besteht aus einem in einer gemeinsamen Messröhre angeordneten Kaltkathoden-Ionisationsmanometer vom inversen Magnetrontyp und einem Wärmeleitungsmanometer (auch als Piranimanometer bekannt). Mit dem patentierten Sensorkonzept verlängert sich bei gleich bleibender Messgenauigkeit die Standzeit des Messkopfes um ein Vielfaches.

Weitere Informationen: PDF

ESA Patentverwertungsagentur Sachsen-Anhalt GmbH
Tel.: +49 (0)391/8 10 72 20

Ansprechpartner
Dr. Stefan Schünemann

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