Umweltfreundliche und kosteneffiziente Herstellung von funktionalen metalloxidischen Schichten
Qualitativ hochwertige, hochreine funktionale oxidische Schichten, die ggf. nanostrukturiert sind, können überraschenderweise bei Umgebungsdruck hergestellt, wenn das erfindungsgemäße kostengünstige Verfahren zur metallorganischen Aerosoldeposition verwendet wird. Die Technik ist hervorragend geeignet für kontinuierliche Produktion, z.B. mit Rolle-zu-Rolle-Verfahren. Ein zusätzliche Alleinstellungsmerkmal ist die Möglichkeit, umweltverträgliche und gleichzeitig kostengünstige Präkursoren zu verwenden. Dies ist insbesondere im Gegensatz zur Situation bei MOCVD-Verfahren.
Anwendungen: Hochtemperatur-Supraleiter, Magnetometer für medizinische Geräte, LED für Allgemeinbeleuchtung, Biosensoren.
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MBM ScienceBridge GmbH
Tel.: (0551) 30724-151
Ansprechpartner
Dr. Jens-Peter Horst
