

Mithilfe des innovativen ZnO-Abscheideverfahrens können einfach und gut kontrollierbar Weise und vor allem ohne Einsatz von umweltbelastenden Hilfsstoffen schwach leitende Schichten, leicht ätzbare Opferschichten in Multilagen-Systemen, leitfähige transparente Schichten (transparent conductive oxide, TCO) und allgemein leitfähige Kontakte oder Leiterstrukturen auf Festkörper-Substraten wie Saphir, Silizium, Siliziumkarbid oder Galliumnitrid in sehr guter Qualität hergestellt werden.
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Technologie-Lizenz-Büro (TLB) der Baden-Württembergischen Hochschulen GmbH
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Ansprechpartner
Dipl.-Biol. Marcus Lehnen, MBA
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