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Vorrichtung zur Überwachung von Ätzvorgängen

An der Universität des Saarlandes im Fachbereich Mikromechanik wurde eine neuar-tige Vorrichtung zur Überwachung von nasschemischen Ätzvorgängen entwickelt. Dabei kann das gewünschte Endpunkt des Ätzvorgangs (Ätzstopp) durch kontinuierliche Messung während des nasschemischen Strukturierungsvorgangs bestimmt werden.

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Universität des Saarlandes Wissens- und Technologietransfer GmbH PatentVerwertungsAgentur der saarländischen Hochschulen
Tel.: +49 (0)681/9386376

Ansprechpartner
Dipl.-Kfm. Axel Koch MBA, Dr. Dirk Schwingel

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