Maschinenbau

Inline-Spektrometertechnik misst Reflexion und Farbe von Wafern

Die Testergebnisse jedes Wafers werden „live“ visualisiert. Angezeigt werden die physikalischen Werte des getesteten Wafers, die Farbwerte und die daraus abgeleitete Schichtdicke, so dass Wafer auch nach ihren Farbeigenschaften sortiert werden können.



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