Wie das Unternehmen mitteilt, ist die Linearisierung direkt in die Elektronik im Sensorkopf integriert und korrigiert auch kleinste Linearitätsfehler.
Abhängig von der Messlänge können die Sensoren jetzt bis zu 10-mal genauer Positionen aufnehmen. Zum Kalibrieren testet MTS das Signal jedes einzelnen Sensors auf einem Laserinterferometer in 1-µm-Schritten und ermittelt so seine individuelle Linearitätskurve.
Die Abweichungen zur Idealkurve werden für die jeweiligen Positionen in einer Korrekturtabelle in der Sensorelektronik hinterlegt.



