Das ist das Ergebnis einer Anlagenentwicklung (Meta Circle 850), die automatisch im Taktbetrieb arbeitet und fünf Kammern umfasst – inklusive Ein- und Ausschleuskammer.
In den Prozesskammern erfolgt erst eine Oberflächenaktivierung oder Grundschichtabscheidung. Danach kommt die eigentliche metallische Beschichtung mit zwei Sputterquellen. Zum Schluss findet eine Plasmapolymerisation und Schichtmodifikation statt.
Als Substratwerkstoffe eignen sich Kunststoff, Glas, Keramik und Metall. Die Anlage wurde zur Integration in automatische Taktstraßen konzipiert.



