Synthese superharter Materialien

In den letzten Jahren sind CVD- und Plasma-CVD-Verfahren zur Herstellung dünner Schichten aus Diamant und kubischem Bornitrid entwickelt worden. Diese superharten Werkstoffe besitzen hervorragende Eigenschaften wie höchste Härte, geringer Verschleiß, chemische Resistenz, höchste Wärmeleitfähigkeit, großer Bandabstand und Dotierbarakeit, so dass sich interessante mechanische, optische und mikroelektronische Anwendungen anbieten. Andererseits sind die bei der Nukleation und beim Schichtenwachstum ablaufenden Prozesse und die Gasphasenkinetik im Plasma weitgehend ungeklärt. Das Forschungsprogramm umfasst die Projektbereiche Herstellungsverfahren, Verständnis der Elementarprozesse der Nukleation und des Schichtenwachstums, Charakterisierung der erzeugten Materialien mit Hilfe unterschiedlicher Analysemethoden, Untersuchung des Zusammenhangs zwischen Herstellungsverfahren bzw. Verfahrensparametern und Struktur der Schichten, Herstellung von Grundstrukturen für elektronische Bauelemente sowie Herstellung polykristalliner Schichtsysteme für mechanische Anwendungen.