Die neu entwickelte Temperaturstabilisierung umfasst einen doppelten Regelkreis. Mit einem maximalen Umkehrfehler von 0,002° und einer Messauflösung von 0,0001° sind alle Bewegungen in Z-Richtung und der Präszisionsachse Accura C exakt, so der Hersteller.
Die Verfahrwege in X, Y und Z betragen 350, 250 und
300 mm.



