Neue Plasmaanlage – Präzise und hoch entwickelte Chips

Zwei UA Ruhr-Hochschulen – die Universität Duisburg-Essen (UDE) und die Ruhr-Universität Bochum (RUB) – bündeln hier ihre Expertise. Sie stellen künftig Silizium-Photonik-Chips her. Die Kosten für den Transfer der rund 300.000 Euro teuren RUB-Anlage nach Duisburg haben sie gemeinsam gestemmt. Von der Deutschen Forschungsgemeinschaft wurde die Anschaffung des Großgeräts gefördert.

Die neue Plasmaanlage steht nun im Reinraum des Duisburger Zentrums für Halbleitertechnologie und Optoelektronik. Da sie mit bis zu sieben verschiedenen Gasen betrieben werden kann, lassen sich damit unterschiedliche Materialien bearbeiten – zum Beispiel Siliziumoxid und Siliziumnitrid aber auch Galliumarsenid und Indiumphosphid. Sie wird hauptsächlich zu Forschungszwecken genutzt, aber auch für vorkommerzielle Produkte, das heißt für funktionsfähige Prototypen.

„Wir konzentrieren unsere technologischen Ressourcen in den Materialwissenschaften und stärken damit den Wissenschaftsraum Ruhr“, sagen die Photonik-Forscher Prof. Dr. Andreas Stöhr und Prof. Dr. Martin Hofmann. Die hoch entwickelten Produkte können kleine und mittlere Unternehmen später zu einem Bruchteil der bisherigen Kosten einsetzen. Denn die Wissenschaftler geben ihr Know-how weiter, was die Herstellungskosten senkt und neue Anwendungsfelder für PICs erschließt, z.B. für hochauflösende miniaturisierte Radarsysteme oder zur spektroskopischen Identifizierung von Materialien.

Universitätsallianz Ruhr
Seit 2007 arbeiten die drei Ruhrgebietsuniversitäten unter dem Dach der UA Ruhr strategisch eng zusammen. Durch Bündelung der Kräfte werden die Leistungen der Partneruniversitäten systematisch ausgebaut. Unter dem Motto „gemeinsam besser“ gibt es inzwischen über 100 Kooperationen in Forschung, Lehre und Verwaltung. Mit mehr als 115.000 Studierenden und nahezu 1.300 Professor/innen gehört die UA Ruhr zu den größten und leistungsstärksten Wissenschaftsstandorten Deutschlands.

Hinweis für die Redaktion:
Ein Foto (Bildnachweis: UDE) stellen wir Ihnen unter folgendem Link zur Verfügung: https://www.uni-due.de/de/presse/pi_fotos.php
Bildbeschreibung: UDE-Techniker Jose Luis Fernández Estévez (l.) und Reimund Tilders (r.) bei der Installation der RUB-Anlage im Zentrum für Halbleitertechnologie und Optoelektronik.

Weitere Informationen:
Prof. Dr.-Ing. Andreas Stöhr, Optoelektronik, Zentrum für Halbleitertechnologie und Optoelektronik, UDE, Tel. 0203/379-2825, -2340, andreas.stoehr@uni-due.de
Prof. Dr. Martin Hofmann, Photonik und Terahertztechnologie, RUB, Tel. 0234/32-22259, martin.hofmann@rub.de