Halbleiter-Nanosäulen benötigen elektrische Kontakte auf deren Spitzen.
Die Erfindung ermöglicht lokale Kontaktierungen der Nanosäulen. Das Kontaktmaterial ist selektiv an den Enden der Nanosäulen angebracht. Eine Metallisierung der Seitenwände findet nicht statt.
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EZN Erfinderzentrum Norddeutschland GmbH
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Dipl.-Ing. Andreas Deutsch
