Hochauflösendes Elektronenmikroskop
Die Erfindung beschreibt die Kombination einer neuartigen Detektorform mit einer Elektronenstrahlmanipulation zur Verbesserung der Messung der lateralen Strahlenablenkung bei Elektronenmikroskopen.
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Bayerische Patentallianz GmbH
Tel.: +49 89 5480177-0
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