Simple Alternative – NanoInspect von Fraunhofer IISB

Er stellt ein kompaktes Tool zur großflächigen Defekterkennung und Topographiebestimmung im Nanometer-Bereich dar. Es handelt es sich um einen vom Fraunhofer IISB entwickelten Wellenfrontsensor.

Der patentierte Messaufbau basiert auf der Makyoh-Methode. Mittels einer LED und eines optischen Systems wird eine ebene Wellenfront auf die Probenoberfläche projiziert. Die zurückreflektierte Wellenfront wird durch eine CCD-Kamera detektiert. Durch Analyse der Wellenfrontdeformation kann die Oberflächentopographie ermittelt werden.

Mit einer Messung kann eine Fläche von 130 Millimeter Durchmesser erfasst werden. Die Höhenauflösung beträgt etwa zehn Nanometer, während die laterale Auflösung bei bis zu 500 Mikrometer liegt. Der NanoInspect deckt den Bereich zwischen SEM, AFM (atomare Auflösung, aber kleines Sichtfeld im Mikrometer-Bereich) und geometrischen Messmethoden (großes Sichtfeld, aber nur makroskopische Auflösung) ab.

Er ist eine simple und kostengünstige Alternative oder Referenzmessung zur Interferometrie dar. Zur 3-D-Topographierekonstruktion aus den Messdaten des NanoInspect steht eigens vom Fraunhofer IISB entwickelte Image Processing Software zur Verfügung. Das IISB besitzt zudem Kompetenzen im Bereich Post Processing.

Der NanoInspect wird bisher in der Halbleiterfertigung zur Ebenheitsmessung, Defekterkennung und Nanotopographieermittlung von Halbleiterscheiben (Wafern) eingesetzt. Prinzipiell ist er zur berührungslosen Topographieprüfung von allen Oberflächen mit ausreichender Reflektivität geeignet, etwa polierte Metalloberflächen, Glasplatten oder Spiegel. bwHalle 1, Stand 1712