Methode zur Kontrolle der Ionenenergie in RF Plasma
Diese neuartige Methode erlaubt in einfacher Weise, in kapazitiven Entladungen – insbesondere in geometrisch symmetrischen Entladungen – die Ionenernegie zu kontrollieren.
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rubitec – Gesellschaft für Innovation und Technologie der Ruhr-Universität Bochum mbH
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