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Piezo-Nanopositioniersysteme arbeiten mit Wiederholgenauigkeiten im Nanometerbereich bei Ansprechzeiten unterhalb einer Millisekunde. Dadurch erschließen sich den präzisen Positioniersystemen immer wieder neue Einsatzbereiche.
Ein typisches Beispiel liefern die neuen 3D-Laserlithografiegeräte der Nanoscribe GmbH, mit denen sich erstmals komplexe dreidimensionale Mikro- und Nanostrukturen vollautomatisch in photosensitiven Materialien herstellen lassen.
Typische Einsatzbereiche für die neue Technik finden sich z.B. bei der Herstellung dreidimensionaler Gerüste für die Zellbiologie, bei der Fertigung mikro-optischer Bauelemente oder photonischer Kristalle sowie als Rapid-Prototyping-Instrument bei mikro- und nanofluidischen Systemen und deren Kleinserienfertigung.
Da sich mit dem in drei Dimensionen “schreibenden” Laser Bahnbreiten bis hinunter zu 150 nm realisieren lassen, sind die Anforderungen an die Positioniergenauigkeit hoch. Das geeignete Nano-Positioniersystem für die Feinjustierung des Lithog rafieobjekts oder der Probe stammt von der in Karlsruhe ansässigen Firma Physik Instrumente (PI):
Der mit Piezoaktoren angetriebene Mehrachsen-Nanostelltisch P-563 arbeitet mit Stellwegen bis 300 x 300 x 300 µm und einer Wiederholgenauigkeit im Nanometerbereich. Zur hohen Positioniergenauigkeit trägt der Aufbau als parallelkinematisches Mehrachssystem bei. Alle Piezoaktoren wirken auf eine zentrale Plattform. Dadurch lässt sich ein identisches dynamisches Verhalten für alle Achsen erzielen. Außerdem erfasst die Sensorik alle geregelten Freiheitsgrade gleichzeitig. Durch diese Parallelmetrologie lassen sich Achsübersprechen und Führungsfehler aktiv verhindern.
Leseranfragen bitte direkt an Physik Instrumente (PI)
Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG
Auf der Römerstr. 1
D-76228 Karlsruhe/Palmbach
E-Mail: info@pi.ws
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