Forum für Wissenschaft, Industrie und Wirtschaft

Hauptsponsoren:     3M 
Datenbankrecherche:

 

NanoSpray-Technologie zur Beschichtung von außergewöhnlichen Oberflächen

05.02.2007
NanoSpray, ein neuartiges Polymer-Beschichtungsverfahren von EV Group, ermöglicht das Auftragen von gleichmäßigen Schichten aus fotostrukturierbaren Materialien auf Oberflächen mit extremen Topografien und engen Strukturen.

Das Verfahren ermöglicht es, so genannte Vias mit konformalen Schichten gleichmäßig zu belacken. Vias werden vor allem in der Halbleiter- und Mikrosystemtechnik zum Kontaktieren von Vorder- und Rückseiten der Wafer verwendet.

Durch die NanoSpray-Technologie können Vias mit vertikalen Seitenwänden – hergestellt mittels Trockenätzverfahren – sowie 200 Mikrometern Tiefe und 20 Mikrometern Durchmesser mit einer konformalen Schicht von zwei bis fünf Mikrometern Dicke gleichmäßig beschichtet werden. Anwendungsbereiche ergeben sich zurzeit vor allem im Bereich von Beschichtungen mit dielektrischen (zum Beispiel BCB) und fotostrukturierbaren Polymeren (zum Beispiel AZ6612), um mittels weiterer Ätzschritte genau definierte Öffnungen am Grund der Via-Strukturen zu realisieren.

Weiterhin erlaubt das Verfahren die einfache und kostengünstige Herstellung von zähen Hybridschichten, bestehend aus einer dicken, dielektrischen Schicht und dünnen, elektrisch isolierenden Schichten (zum Beispiel SiN), welche durch die speziellen Eigenschaften der Polymerschicht Selbstheilungseffekte bei den spröden und rissigen Metallschichten ermöglichen. Diese neuartigen Hybridschichten können die zur elektrischen Kontaktierung verwendeten Vias gegenüber dem Grundmaterial des Halbleitersubstrates isolieren.

... mehr zu:
»Beschichtung »Mikrometer »Schicht

Kontakt:

EV Group
Markus Wimplinger
Tel: +43 7712 5311 5300
m.wimplinger@EVGroup.com

Markus Wimplinger | NeMa
Weitere Informationen:
http://www.EVGroup.com
http://www.neuematerialien.de

Weitere Berichte zu: Beschichtung Mikrometer Schicht

Weitere Nachrichten aus der Kategorie Verfahrenstechnologie:

nachricht Neue Einblicke in die Materie: Hochdruckforschung in Kombination mit NMR-Spektroskopie
11.12.2017 | Universität Bayreuth

nachricht Bioverfahrenstechnik - Mit Kugeln optimal messen
01.12.2017 | Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme

Alle Nachrichten aus der Kategorie: Verfahrenstechnologie >>>

Die aktuellsten Pressemeldungen zum Suchbegriff Innovation >>>

Die letzten 5 Focus-News des innovations-reports im Überblick:

Im Focus: Nanostrukturen steuern Wärmetransport: Bayreuther Forscher entdecken Verfahren zur Wärmeregulierung

Der Forschergruppe von Prof. Dr. Markus Retsch an der Universität Bayreuth ist es erstmals gelungen, die von der Temperatur abhängige Wärmeleitfähigkeit mit Hilfe von polymeren Materialien präzise zu steuern. In der Zeitschrift Science Advances werden diese fortschrittlichen, zunächst für Laboruntersuchungen hergestellten Funktionsmaterialien beschrieben. Die hiermit gewonnenen Erkenntnisse sind von großer Relevanz für die Entwicklung neuer Konzepte zur Wärmedämmung.

Von Schmetterlingsflügeln zu neuen Funktionsmaterialien

Im Focus: Lange Speicherung photonischer Quantenbits für globale Teleportation

Wissenschaftler am Max-Planck-Institut für Quantenoptik erreichen mit neuer Speichertechnik für photonische Quantenbits Kohärenzzeiten, welche die weltweite...

Im Focus: Long-lived storage of a photonic qubit for worldwide teleportation

MPQ scientists achieve long storage times for photonic quantum bits which break the lower bound for direct teleportation in a global quantum network.

Concerning the development of quantum memories for the realization of global quantum networks, scientists of the Quantum Dynamics Division led by Professor...

Im Focus: Electromagnetic water cloak eliminates drag and wake

Detailed calculations show water cloaks are feasible with today's technology

Researchers have developed a water cloaking concept based on electromagnetic forces that could eliminate an object's wake, greatly reducing its drag while...

Im Focus: Neue Einblicke in die Materie: Hochdruckforschung in Kombination mit NMR-Spektroskopie

Forschern der Universität Bayreuth und des Karlsruhe Institute of Technology (KIT) ist es erstmals gelungen, die magnetische Kernresonanzspektroskopie (NMR) in Experimenten anzuwenden, bei denen Materialproben unter sehr hohen Drücken – ähnlich denen im unteren Erdmantel – analysiert werden. Das in der Zeitschrift Science Advances vorgestellte Verfahren verspricht neue Erkenntnisse über Elementarteilchen, die sich unter hohen Drücken oft anders verhalten als unter Normalbedingungen. Es wird voraussichtlich technologische Innovationen fördern, aber auch neue Einblicke in das Erdinnere und die Erdgeschichte, insbesondere die Bedingungen für die Entstehung von Leben, ermöglichen.

Diamanten setzen Materie unter Hochdruck

Alle Focus-News des Innovations-reports >>>

Anzeige

Anzeige

IHR
JOB & KARRIERE
SERVICE
im innovations-report
in Kooperation mit academics
Veranstaltungen

Mit allen Sinnen! - Sensoren im Automobil

14.12.2017 | Veranstaltungen

Materialinnovationen 2018 – Werkstoff- und Materialforschungskonferenz des BMBF

13.12.2017 | Veranstaltungen

Innovativer Wasserbau im 21. Jahrhundert

13.12.2017 | Veranstaltungen

 
VideoLinks
B2B-VideoLinks
Weitere VideoLinks >>>
Aktuelle Beiträge

Was für IT-Manager jetzt wichtig ist

14.12.2017 | Unternehmensmeldung

30 Baufritz-Läufer beim 25. Erkheimer Nikolaus-Straßenlauf

14.12.2017 | Unternehmensmeldung

Mit allen Sinnen! - Sensoren im Automobil

14.12.2017 | Veranstaltungsnachrichten