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Drucksensorchips für 0,01-400 bar

15.03.2001


Mikromechanische Sensoren auf Kundenwunsch

Erfurt, März 2001 - Drucksensorchips für den Messbereich von 0,01-400 bar aus dem CiS sind für Druckmessungen in Gasen und Flüssigkeiten in vielfältigen Anwendungen geeignet. Die Chips von ca. 6*6 mm2 nutzen als Wirkprinzip eine piezoresistive Widerstandsbrücke. Basierend auf der technologischen Kernkompetenz des CiS zur Entwicklung und Fertigung von bulk-mikromechanischen Sensoren und Sensormodulen ist die Messung weiterer mechanischer Größen wie z.B. Beschleunigung durch entsprechend gestaltete mechanische Verformungskörper (Membran, Balken, Zunge) möglich.
Neben dem piezoresistiven Effekt wird zur Signalwandlung das kapazitive Meßprinzip zur Erfassung von Verformungen ausgenutzt.

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»Drucksensorchip »Sensor

Das CiS verfügt über Möglichkeiten zur Entwicklung des kundenspezifischen Designs der Sensoren mittels FEM. Zur kostengünstigen Fertigung im Bereich kleiner und mittlerer Stückzahlen stehen als technologische Plattform eine komplette 4``-Waferlinie und die entsprechenden Prozeßschritte der Aufbau- und Verbindungstechnik auf ca. 200 m2 Reinraumfläche zur Verfügung.

Das CiS präsentiert sein komplettes Leistungsspektrum im Bereich Design und Prototyping von Si-Mikrosensoren auf den bevorstehenden Fachmessen:
Hannover Industriemesse 2001; Halle 7, Stand E 14
SMT/Hybrid/Packaging 2001 Nürnberg; Halle 3, Stand 641.


Sensor 2001 Nürnberg; Halle 1, Stand 662

Kontakt:
Für die Presse

Andreas Albrecht
CiS Institut für Mikrosensorik gGmbH
Haarbergstraße 61
99097 Erfurt

Tel: 0361 4205110
Fax: 0361 4205113
E-Mail: info@cismst.de
http://www.cismst.de

Andreas Albrecht | idw

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