Forum für Wissenschaft, Industrie und Wirtschaft

Hauptsponsoren:     3M 
Datenbankrecherche:

 

Verbesserungen in der Nano-Prägelithografie

21.10.2003


Eine Verbesserung der Antihafteigenschaften der Stempel sowie die Entwicklung innovativer Konzepte für die Abhebephase der Nanostruktur machen die Technik der Nano-Prägelithografie zu den attraktivsten Verfahren zur Implementierung von Anwendungen für die Produktion von Nanoschaltungen.



Noch vor wenigen Jahren bestand das größte Hindernis für die Entwicklung von Nanostrukturen darin, dass keine Fertigungtechnologie zur Verfügung stand, mit der ein hoher Durchsatz und niedrige Produktionskosten realisierbar waren. Erst die Nano-Prägelithografie (Nano Imprint Lithography, NIL) erwies sich als eine effektive Lösung für dieses Problem. Beim NIL-Verfahren wird die Form eines bestimmten Musters mit einem Stempel auf eine Polymeroberfläche übertragen. Der Abdruck wird anschließend erwärmt, so dass der Rest des Polymers im komprimierten Bereich entnommen werden kann. Schließlich erfolgt die Metallisierung des Abdrucks, wobei die gewünschte Nanostruktur entsteht, die nun abgehoben werden kann.



Im Projekt CHANIL geht es um die NIL-Technologie und insbesondere um Konzepte, mit denen sich zwei Aspekte verbessern lassen, die für die praktische NIL-Anwendungen von entscheidender Bedeutung sind, nämlich das Entfernen des Stempels und das Abheben der Struktur. Im Rahmen des Projekts wurde ein Trockenchemie-Verfahren für die Antihaftbehandlung von Lithografiestempeln entwickelt, die aus Nickel oder Silizium hergestellt werden. Die Grenzfläche zwischen Stempel und Polymer weist nach der Behandlung ausgezeichnete Antihafteigenschaften auf. So ist gewährleistet, dass keine Polymerteile am Stempel kleben bleiben und die Form der Struktur verändern - nicht einmal nach mehreren Stempelvorgängen. Hinsichtlich der Abhebephase wurde eine neue Technik zur Anwendung gebracht.

Diese Technik basiert einerseits auf exakten Einstellungen der Temperatur und Zeit, die so vorgenommen werden, dass das Fließverhalten der Restschicht optimiert wird, und andererseits auf der Verwendung eines verdünnten Lösungsmittels zu deren abschließender Entfernung. Diese beiden Innovationen verleihen nicht nur der NIL-Technologie mehr Effizienz, sondern - und das ist vielleicht das Wichtigste - ermöglichen auch die Produktion noch kleinerer Nanostrukturen.

Kontakt:

Prof. Lars Montelius
Head of Exploratory Nanotechnology
Lund University
Box 118, 221 00 Lund, Schweden
Tel: +46-46-2224125
Fax: +46-46-2223637
Email: lars.montelius@ftf.lth.se

Prof. Lars Montelius | ctm
Weitere Informationen:
http://www.nano.ftf.lth.se

Weitere Berichte zu: Abdruck Nano-Prägelithografie Nanostruktur Polymer Stempel

Weitere Nachrichten aus der Kategorie Verfahrenstechnologie:

nachricht Innovation macht 3D-Drucker für kleinere und mittlere Unternehmen rentabel
24.03.2017 | Technische Hochschule Nürnberg Georg Simon Ohm

nachricht Neues energieeffizientes Verfahren zur Herstellung von Kohlenstofffasern
13.03.2017 | Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik IWS

Alle Nachrichten aus der Kategorie: Verfahrenstechnologie >>>

Die aktuellsten Pressemeldungen zum Suchbegriff Innovation >>>

Die letzten 5 Focus-News des innovations-reports im Überblick:

Im Focus: Quantenkommunikation: Wie man das Rauschen überlistet

Wie kann man Quanteninformation zuverlässig übertragen, wenn man in der Verbindungsleitung mit störendem Rauschen zu kämpfen hat? Uni Innsbruck und TU Wien präsentieren neue Lösungen.

Wir kommunizieren heute mit Hilfe von Funksignalen, wir schicken elektrische Impulse durch lange Leitungen – doch das könnte sich bald ändern. Derzeit wird...

Im Focus: Entwicklung miniaturisierter Lichtmikroskope - „ChipScope“ will ins Innere lebender Zellen blicken

Das Institut für Halbleitertechnik und das Institut für Physikalische und Theoretische Chemie, beide Mitglieder des Laboratory for Emerging Nanometrology (LENA), der Technischen Universität Braunschweig, sind Partner des kürzlich gestarteten EU-Forschungsprojektes ChipScope. Ziel ist es, ein neues, extrem kleines Lichtmikroskop zu entwickeln. Damit soll das Innere lebender Zellen in Echtzeit beobachtet werden können. Sieben Institute in fünf europäischen Ländern beteiligen sich über die nächsten vier Jahre an diesem technologisch anspruchsvollen Projekt.

Die zukünftigen Einsatzmöglichkeiten des neu zu entwickelnden und nur wenige Millimeter großen Mikroskops sind äußerst vielfältig. Die Projektpartner haben...

Im Focus: A Challenging European Research Project to Develop New Tiny Microscopes

The Institute of Semiconductor Technology and the Institute of Physical and Theoretical Chemistry, both members of the Laboratory for Emerging Nanometrology (LENA), at Technische Universität Braunschweig are partners in a new European research project entitled ChipScope, which aims to develop a completely new and extremely small optical microscope capable of observing the interior of living cells in real time. A consortium of 7 partners from 5 countries will tackle this issue with very ambitious objectives during a four-year research program.

To demonstrate the usefulness of this new scientific tool, at the end of the project the developed chip-sized microscope will be used to observe in real-time...

Im Focus: Das anwachsende Ende der Ordnung

Physiker aus Konstanz weisen sogenannte Mermin-Wagner-Fluktuationen experimentell nach

Ein Kristall besteht aus perfekt angeordneten Teilchen, aus einer lückenlos symmetrischen Atomstruktur – dies besagt die klassische Definition aus der Physik....

Im Focus: Wegweisende Erkenntnisse für die Biomedizin: NAD⁺ hilft bei Reparatur geschädigter Erbinformationen

Eine internationale Forschergruppe mit dem Bayreuther Biochemiker Prof. Dr. Clemens Steegborn präsentiert in 'Science' neue, für die Biomedizin wegweisende Forschungsergebnisse zur Rolle des Moleküls NAD⁺ bei der Korrektur von Schäden am Erbgut.

Die Zellen von Menschen und Tieren können Schäden an der DNA, dem Träger der Erbinformation, bis zu einem gewissen Umfang selbst reparieren. Diese Fähigkeit...

Alle Focus-News des Innovations-reports >>>

Anzeige

Anzeige

IHR
JOB & KARRIERE
SERVICE
im innovations-report
in Kooperation mit academics
Veranstaltungen

Industriearbeitskreis »Prozesskontrolle in der Lasermaterialbearbeitung ICPC« lädt nach Aachen ein

28.03.2017 | Veranstaltungen

Neue Methoden für zuverlässige Mikroelektronik: Internationale Experten treffen sich in Halle

28.03.2017 | Veranstaltungen

Wie Menschen wachsen

27.03.2017 | Veranstaltungen

 
VideoLinks
B2B-VideoLinks
Weitere VideoLinks >>>
Aktuelle Beiträge

Organisch-anorganische Heterostrukturen mit programmierbaren elektronischen Eigenschaften

29.03.2017 | Energie und Elektrotechnik

Klein bestimmt über groß?

29.03.2017 | Physik Astronomie

OLED-Produktionsanlage aus einer Hand

29.03.2017 | Messenachrichten