Kompakte EUV-Strahlungsquelle Anwendungen in der Metrologie

Eine neue Spin-off Firma ist aus dem LZH hervorgegangen, die phoenix|euv Systems + Services GmbH. Die phoenix|euv GmbH bietet eine kommerzielle „kompakte EUV-Röhre“ an, die im extrem ultravioletten (EUV) Bereich arbeitet. Diese Strahlquelle zeichnet sich durch eine sehr kompakte Bauweise und einen niedrigen Preis aus und verspricht zu einem enorm wichtigen Werkzeug für die EUV-Metrologie zu avancieren.

Die Verfügbarkeit kompakter, kalibrierter und preisgünstiger EUV-Quellen ist für Anwendungen in der Metrologie von großem Interesse. Derzeit basieren diese Strahlungsquellen, abgesehen von den komplexen und sehr kostspieligen Synchrotrons, auf Plasmen. Eine weitaus einfachere Möglichkeit, EUV-Strahlung zu erzeugen, bietet die Übertragung konventioneller Röntgenröhrentechnik in den EUV-Bereich. Die EUV-Strahlung wird dabei analog zur Röntgenerzeugung durch Beschuss eines Festkörpers mit Elektronen generiert. Dies erlaubt die Realisierung kompakter, flexibler und preiswerter Strahlquellen und vermeidet die für Plasmaquellen typischen Nachteile, wie z.B. die Emission von Partikeln und Debris. Die „EUV-Röhre“ findet Anwendung beispielsweise in der Charakterisierung von Multilayerspiegeln, Masken und EUV-Filtern, in der Prozesskontrolle während der Herstellung von EUV-Optiken sowie in der Kalibrierung von EUV-Detektoren.

Die phoenix|euv GmbH ist als Gemeinschaftsprojekt zwischen dem Laser Zentrum Hannover e.V. (LZH) und der phoenix|x-ray Systems + Services GmbH entstanden.

Für mehr Information:

Michael Botts
Laser Zentrum Hannover e.V. (LZH)
Hollerithallee 8, D-30419 Hannover
Tel.: +49 511 2788-151, Fax: -100
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