Forum für Wissenschaft, Industrie und Wirtschaft

Hauptsponsoren:     3M 
Datenbankrecherche:

 

157nm & EUV - Von der Mikrosystemtechnik zur Nanotechnologie

30.11.2001


Chip, Quelle: Lambda Physik AG


Medizinisches Implantat, Quelle: Laser Zentrum Hannover


Experten aus Wissenschaft und Wirtschaft treffen sich zum ersten PhotonicNet-Forum in Göttingen.

Am 11. Dezember lädt PhotonicNet, das Kompetenznetz für Optische Technologien in Niedersachsen, zu einem intensiven Austausch über den Entwicklungsstand und potentielle Anwendungen von Lasern mit einer Wellenlänge von 157nm bis hin zu Extrem-UV ein. Die eintägige Veranstaltung findet in Kooperation mit der Firma Lambda Physik statt. Im neu gestalteten Hörsaal des Herstellers von Strahlquellen werden sich etwa 60 Experten aus ganz Deutschland zu Vorträgen und anschließender Diskussion zusammenfinden.

Laser mit einer Wellenlänge von 157 nm verkörpern die stärkste kohärente Lichtquelle (Erzeugung parallele Lichtwellen, die im Gleichtakt schwingen) im tief ultravioletten Spektrum, die heutzutage kommerziell verfügbar ist. Durch ihre extrem kurze Wellenlänge ermöglichen diese Fluor- oder auch F2-Laser sehr hohe Auflösungen und hinterlassen durch den relativ kalten Abtrag im bearbeiteten Material weder störende Schmelzgrate noch Mikrorisse.
Bearbeitungsmöglichkeiten im Nanometer-Bereich sind in der heutigen Zeit der Miniaturisierung von Fertigungsprozessen von großer Bedeutung. So macht die präzise Herstellung extrem kleiner Strukturen F2-Laser für zahlreiche Anwendungen in Medizin, Wissenschaft, Industrie und Lithographie interessant. 157nm-Strahlung wird in der Lithographie, also der Herstellung von Halbleiterstrukturen für Computer- und Telekommunikationssysteme eingesetzt. Hier dienen sie zur Übertragung der Schaltungsentwürfe auf die Siliziumwafer. Die schnellen Prozessor-Generationen der modernen Computer wären ohne die Mikrostrukturierung mittels dieser energiereichen Strahlung nicht denkbar.

... mehr zu:
»Lithographie

Wo liegen weitere Einsatzbereiche dieser Technologie? Eine wichtige Frage, die während des Forum am 11. Dezember diskutiert werden soll. Vieles befindet sich bereits in der Erprobung: so z.B. die Produktion kleinster Quarzoptiken für mikroelektronische, -mechanische und -optische Systeme. Oder in der Medizintechnik, die Bearbeitung von Gefäßstützen für Herzkranzgefäße. Diese sogenannten Stents verhindern ein Kollabieren der Blutbahnen und müssen aus biokompatiblem Material hergestellt werden, das nicht im Körper reagiert und keine Verletzungen hervorruft. Mit Hilfe von F2-Lasern können feinste Kanäle und Durchbrüche in das polymere Material eingearbeitet werden.

Lambda Physik gehört weltweit zu den führenden Unternehmen im Bereich der Excimerlaser-Technologie. Den Teilnehmern des Forums wird Gelegenheit gegeben, das Göttinger Werk zu besichtigen und sich über neueste Entwicklungen zu informieren.

Mit der Einrichtung eines regelmäßigen Forums möchte PhotonicNet bundesweit Kontakte zwischen Unternehmen und Forschungseinrichtungen fördern und zum Ideenaustausch als Vorbereitung für künftige Forschungskooperationen anregen.

Dipl. Biol. Anja Nieselt-Achille | idw
Weitere Informationen:
http://www.photonicnet.de/

Weitere Berichte zu: Lithographie

Weitere Nachrichten aus der Kategorie Veranstaltungsnachrichten:

nachricht Meeresschutz im Fokus: Das IASS auf der UN-Ozean-Konferenz in New York vom 5.-9. Juni
24.05.2017 | Institute for Advanced Sustainability Studies e.V.

nachricht Diabetes Kongress in Hamburg beginnt heute: Rund 6000 Teilnehmer werden erwartet
24.05.2017 | Deutsche Diabetes Gesellschaft

Alle Nachrichten aus der Kategorie: Veranstaltungsnachrichten >>>

Die aktuellsten Pressemeldungen zum Suchbegriff Innovation >>>

Die letzten 5 Focus-News des innovations-reports im Überblick:

Im Focus: Orientierungslauf im Mikrokosmos

Physiker der Universität Würzburg können auf Knopfdruck einzelne Lichtteilchen erzeugen, die einander ähneln wie ein Ei dem anderen. Zwei neue Studien zeigen nun, welches Potenzial diese Methode hat.

Der Quantencomputer beflügelt seit Jahrzehnten die Phantasie der Wissenschaftler: Er beruht auf grundlegend anderen Phänomenen als ein herkömmlicher Rechner....

Im Focus: A quantum walk of photons

Physicists from the University of Würzburg are capable of generating identical looking single light particles at the push of a button. Two new studies now demonstrate the potential this method holds.

The quantum computer has fuelled the imagination of scientists for decades: It is based on fundamentally different phenomena than a conventional computer....

Im Focus: Tumult im trägen Elektronen-Dasein

Ein internationales Team von Physikern hat erstmals das Streuverhalten von Elektronen in einem nichtleitenden Material direkt beobachtet. Ihre Erkenntnisse könnten der Strahlungsmedizin zu Gute kommen.

Elektronen in nichtleitenden Materialien könnte man Trägheit nachsagen. In der Regel bleiben sie an ihren Plätzen, tief im Inneren eines solchen Atomverbunds....

Im Focus: Turmoil in sluggish electrons’ existence

An international team of physicists has monitored the scattering behaviour of electrons in a non-conducting material in real-time. Their insights could be beneficial for radiotherapy.

We can refer to electrons in non-conducting materials as ‘sluggish’. Typically, they remain fixed in a location, deep inside an atomic composite. It is hence...

Im Focus: Hauchdünne magnetische Materialien für zukünftige Quantentechnologien entwickelt

Zweidimensionale magnetische Strukturen gelten als vielversprechendes Material für neuartige Datenspeicher, da sich die magnetischen Eigenschaften einzelner Molekülen untersuchen und verändern lassen. Forscher haben nun erstmals einen hauchdünnen Ferrimagneten hergestellt, bei dem sich Moleküle mit verschiedenen magnetischen Zentren auf einer Goldfläche selbst zu einem Schachbrettmuster anordnen. Dies berichten Wissenschaftler des Swiss Nanoscience Institutes der Universität Basel und des Paul Scherrer Institutes in der Wissenschaftszeitschrift «Nature Communications».

Ferrimagneten besitzen zwei magnetische Zentren, deren Magnetismus verschieden stark ist und in entgegengesetzte Richtungen zeigt. Zweidimensionale, quasi...

Alle Focus-News des Innovations-reports >>>

Anzeige

Anzeige

IHR
JOB & KARRIERE
SERVICE
im innovations-report
in Kooperation mit academics
Veranstaltungen

Meeresschutz im Fokus: Das IASS auf der UN-Ozean-Konferenz in New York vom 5.-9. Juni

24.05.2017 | Veranstaltungen

Diabetes Kongress in Hamburg beginnt heute: Rund 6000 Teilnehmer werden erwartet

24.05.2017 | Veranstaltungen

Wissensbuffet: „All you can eat – and learn”

24.05.2017 | Veranstaltungen

 
VideoLinks
B2B-VideoLinks
Weitere VideoLinks >>>
Aktuelle Beiträge

Hochspannung für den Teilchenbeschleuniger der Zukunft

24.05.2017 | Physik Astronomie

3D-Graphen: Experiment an BESSY II zeigt, dass optische Eigenschaften einstellbar sind

24.05.2017 | Physik Astronomie

Optisches Messverfahren für Zellanalysen in Echtzeit - Ulmer Physiker auf der Messe "Sensor+Test"

24.05.2017 | Messenachrichten