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Erfurter Drucksensorchips auf der INTERKAMA

14.08.2001


CiS-Drucksensorchips für den Messbereich von 0,01-400 bar sind für Druckmessungen in Gasen und Flüssigkeiten geeignet. Die Chips von ca. 6x6 mm² nutzen als Wirkprinzip eine piezoresistive Widerstandsbrücke. Das bulk-mikromechanische Lösungsprinzip gestattet durch entsprechend gestaltete mechanische Verformungskörper (Membran, Balken, Zunge) darüber hinaus die Messung weiterer mechanischer Größen wie z.B. Beschleunigung.
Ein Feuchtemesssystem für den Bereich sehr hoher Feuchte >95 % misst stabil und mit hoher Genauigkeit. Es ist kondensationsfest und driftfrei. Verunreinigungen lassen sich einfach entfernen. Die Grundkonfiguration besteht aus einem Taupunkttransmitter mit beheizbarem Sondenkopf. Zusammen mit der Messung der Gastemperatur lässt sich die relative Feuchte rechnerisch ermitteln. Anwendungsgebiete liegen z.B. bei der Lebensmittellagerung, in der Medizin sowie bei der Klimaprüfung elektronischer Produkte.
Das CiS Institut für Mikrosensorik gGmbH stellt diese Produktentwicklung dem interessierten Publikum auf der INTERKAMA, Düsseldorf vom 24. bis 28. September 2001 in Halle 13/E39 vor.

Info:
CiS Institut für Mikrosensorik gGmbH
Haarbergstraße 61
99097 Erfurt
Tel. (0361) 4205170
Fax (0361) 4206176
E-Mail: wmaennel@cismst.de

Andreas Albrecht | idw
Weitere Informationen:
http://www.cismst.de/

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