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Innovationen vom CiS Institut für Mikrosensorik gGmbH

02.04.2004


Die CiS Institut für Mikrosensorik gGmbH zeigt auf der Hannover Messe 2004 vom 19.-24. April 2004 auf dem Gemeinschaftsstand "Microtechnology aus Thüringen" u.a.:


Mikrooptische Sensormodul MORES ®


Si-Drucksensorenchips



Intelligenter Floh im Ohr

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»MORES »Mikrosensorik


Das Mikrooptische Sensormodul MORES ® für die Vitalparametermessung wird jetzt auch als Plug-in angeboten (s. Abb. re). Dies wird im äusseren Gehörgang platziert und ermöglicht so reproduzierbare und artefaktearme Herzkreislauf-Messungen auch in der Bewegung. Dadurch wird eine wesentliche Voraussetzung für effektive Homecare- und Telemedizinapplikationen geschaffen. Darüber hinaus ermöglicht der MORES ®-Plug-in auch das zuverlässige Monitoring von Sportlern, Piloten oder Berufskraftfahrern.
Eine low power Signalverarbeitung in Verbindung mit einer wireless PC-Schnittstelle ist in Vorbereitung.


Modulare Drucksensorik

Si-Drucksensorik für Relativ- und Absolutdruckmessung von 10 mbar bis ca. 15 bar wurde in verschiedenen anwendungsspezifischen Aufbauvarianten entwickelt. Die Drucksensorchips werden wahlweise mit oder ohne Glasträger in Gehäuse wie TO-38, auf LTCC- oder Al2O3- Keramik montiert (s. Abb. re). Der Einsatz chemisch inerter, langzeitstabiler Fügehilfsstoffe ermöglicht u.a. Anwendungen in der Chemie und Pharmazie. Zur kostengünstigen Fertigung stehen eine 4"-Waferlinie, die entsprechenden Prozessschritte der Aufbau- und Verbindungstechnik sowie spezifische Mess- und Kalibriertechnik zur Verfügung.

Ausführliche Informationen: Herr Dipl.-Phys.W Männel, Email: wmaennel@cismst.de

Andreas Albrecht | CiS Institut für Mikrosensorik
Weitere Informationen:
http://www.cismst.de

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