Forum für Wissenschaft, Industrie und Wirtschaft

Hauptsponsoren:     3M 
Datenbankrecherche:

 

Unsichtbare Spiegelungen vermessen

16.07.2003


Das Wettrennen der Chiphersteller läuft: Ab dem Jahr 2010 sollen ihre Produktionsanlagen zunehmend mit extremer UV-Strahlung (EUV) arbeiten. Denn je kürzer die in der Photolithographie verwendete Wellenlänge ist, desto feinere mikroelektronische Strukturen können erzeugt werden. Höhere Integrationsdichten und leistungsfähigere Chips sind die Folge. Wie jede, hat auch diese Sache einen Haken: Strahlung um 13 Nanometer lässt sich wie die benachbarte Röntgenstrahlung mit den bisher verwendeten Optiken weder umlenken noch fokussieren. Einen Ausweg bieten gekrümmte Spiegel, die jedoch nicht einfach wie im heimischen Bad mit Aluminium oder Silber beschichtet sind, sondern mit vielen hundert, sich abwechselnden Schichten verschiedener Materialien. An jeder wird ein kleiner Teil der Strahlung reflektiert. Wissenschaftler vom Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik IWS waren froh, als sie im vergangenen Jahr bei der Reflektivität die Schallmauer von 70 Prozent durchbrachen.



Froh sind sie auch, dass sie für Messungen an ihren EUV-optischen Bauteilen nicht mehr ständig nach Berlin fahren müssen, um die Strahlenquelle des Berliner Elektronensynchrotrons BESSY zu nutzen. Denn inzwischen steht im Dresdner IWS ein Reflektometer - das erste europäische Messgerät dieser Art. Hier wie dort wird EUV-Strahlung nicht einfach mit gewöhnlichen Lampen erzeugt, wie Projektleiter Dr. Ludwig van Loyen erläutert: »Mit grünem Laserlicht schießen wir auf Gold. An der Metalloberfläche entsteht für kurze Zeit ein Plasma. Dieser Punkt, der nur etwa halb so dick ist wie ein menschliches Haar, emittiert EUV-Strahlung.« Weiter geht es in den Monochromator. Von griechisch »eine Farbe« abgeleitet, gewährleistet er, dass die gewünschte Wellenlänge zwischen 10 und 16 Nanometern sehr präzise selektiert wird.



Der auf diese Weise »gereinigte« Messstrahl tritt in die mannshohe Goniometerkammer ein. In diesem vakuumisierten Stahltank liegt beispielsweise ein EUV-Spiegel. Der Strahl trifft auf seine Oberfläche und die Reflexion gibt Auskunft über die optische Güte. »Natürlich benötigen wir Daten von allen Bereichen - und das unter verschiedenen Winkeln«, betont van Loyen. »Da der Strahl schlecht lenkbar ist, muss der maximal einen halben Meter große und 30 Kilo schwere Spiegel präzise und wiederholbar in allen Raumrichtungen bewegt werden - eine feinmechanische Meisterleistung.« Derzeit ist die Laboranlage in der Erprobungsphase. Noch in diesem Jahr soll sie beim Projektpartner Carl Zeiss im schwäbischen Oberkochen aufgebaut werden.

Ansprechpartner:

Dr. Ludwig van Loyen
Telefon 03 51 / 25 83-4 22
Fax 03 51 / 25 83-3 00
Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik IWS
Winterbergstraße 28
01277 Dresden

E-Mail: ludwig.van-loyen@iws.fraunhofer.de

Fraunhofer-Gesellschaft | Fraunhofer-Gesellschaft
Weitere Informationen:
http://www.fraunhofer.de/german/press/pi/index.html
http://www.iws.fraunhofer.de/

Weitere Berichte zu: EUV-Strahlung Nanometer Strahl Strahlung Wellenlänge

Weitere Nachrichten aus der Kategorie Materialwissenschaften:

nachricht Kleine Strukturen – große Wirkung
21.11.2017 | Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik IWS

nachricht Transparente Beschichtung für Alltagsanwendungen
20.11.2017 | Karlsruher Institut für Technologie

Alle Nachrichten aus der Kategorie: Materialwissenschaften >>>

Die aktuellsten Pressemeldungen zum Suchbegriff Innovation >>>

Die letzten 5 Focus-News des innovations-reports im Überblick:

Im Focus: Kleine Strukturen – große Wirkung

Innovative Schutzschicht für geringen Verbrauch künftiger Rolls-Royce Flugtriebwerke entwickelt

Gemeinsam mit Rolls-Royce Deutschland hat das Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik IWS im Rahmen von zwei Vorhaben aus dem...

Im Focus: Nanoparticles help with malaria diagnosis – new rapid test in development

The WHO reports an estimated 429,000 malaria deaths each year. The disease mostly affects tropical and subtropical regions and in particular the African continent. The Fraunhofer Institute for Silicate Research ISC teamed up with the Fraunhofer Institute for Molecular Biology and Applied Ecology IME and the Institute of Tropical Medicine at the University of Tübingen for a new test method to detect malaria parasites in blood. The idea of the research project “NanoFRET” is to develop a highly sensitive and reliable rapid diagnostic test so that patient treatment can begin as early as possible.

Malaria is caused by parasites transmitted by mosquito bite. The most dangerous form of malaria is malaria tropica. Left untreated, it is fatal in most cases....

Im Focus: Transparente Beschichtung für Alltagsanwendungen

Sport- und Outdoorbekleidung, die Wasser und Schmutz abweist, oder Windschutzscheiben, an denen kein Wasser kondensiert – viele alltägliche Produkte können von stark wasserabweisenden Beschichtungen profitieren. Am Karlsruher Institut für Technologie (KIT) haben Forscher um Dr. Bastian E. Rapp einen Werkstoff für solche Beschichtungen entwickelt, der sowohl transparent als auch abriebfest ist: „Fluoropor“, einen fluorierten Polymerschaum mit durchgehender Nano-/Mikrostruktur. Sie stellen ihn in Nature Scientific Reports vor. (DOI: 10.1038/s41598-017-15287-8)

In der Natur ist das Phänomen vor allem bei Lotuspflanzen bekannt: Wassertropfen perlen von der Blattoberfläche einfach ab. Diesen Lotuseffekt ahmen...

Im Focus: Ultrakalte chemische Prozesse: Physikern gelingt beispiellose Vermessung auf Quantenniveau

Wissenschaftler um den Ulmer Physikprofessor Johannes Hecker Denschlag haben chemische Prozesse mit einer beispiellosen Auflösung auf Quantenniveau vermessen. Bei ihrer wissenschaftlichen Arbeit kombinierten die Forscher Theorie und Experiment und können so erstmals die Produktzustandsverteilung über alle Quantenzustände hinweg - unmittelbar nach der Molekülbildung - nachvollziehen. Die Forscher haben ihre Erkenntnisse in der renommierten Fachzeitschrift "Science" publiziert. Durch die Ergebnisse wird ein tieferes Verständnis zunehmend komplexer chemischer Reaktionen möglich, das zukünftig genutzt werden kann, um Reaktionsprozesse auf Quantenniveau zu steuern.

Einer deutsch-amerikanischen Forschergruppe ist es gelungen, chemische Prozesse mit einer nie dagewesenen Auflösung auf Quantenniveau zu vermessen. Dadurch...

Im Focus: Leoniden 2017: Sternschnuppen im Anflug?

Gemeinsame Pressemitteilung der Vereinigung der Sternfreunde und des Hauses der Astronomie in Heidelberg

Die Sternschnuppen der Leoniden sind in diesem Jahr gut zu beobachten, da kein Mondlicht stört. Experten sagen für die Nächte vom 16. auf den 17. und vom 17....

Alle Focus-News des Innovations-reports >>>

Anzeige

Anzeige

IHR
JOB & KARRIERE
SERVICE
im innovations-report
in Kooperation mit academics
Veranstaltungen

Tagung widmet sich dem Thema Autonomes Fahren

21.11.2017 | Veranstaltungen

Neues Elektro-Forschungsfahrzeug am Institut für Mikroelektronische Systeme

21.11.2017 | Veranstaltungen

Raumfahrtkolloquium: Technologien für die Raumfahrt von morgen

21.11.2017 | Veranstaltungen

 
VideoLinks
B2B-VideoLinks
Weitere VideoLinks >>>
Aktuelle Beiträge

Wasserkühlung für die Erdkruste - Meerwasser dringt deutlich tiefer ein

21.11.2017 | Geowissenschaften

Eine Nano-Uhr mit präzisen Zeigern

21.11.2017 | Physik Astronomie

Zentraler Schalter

21.11.2017 | Biowissenschaften Chemie