Forum für Wissenschaft, Industrie und Wirtschaft

Hauptsponsoren:     3M 
Datenbankrecherche:

 

Unsichtbare Spiegelungen vermessen

16.07.2003


Das Wettrennen der Chiphersteller läuft: Ab dem Jahr 2010 sollen ihre Produktionsanlagen zunehmend mit extremer UV-Strahlung (EUV) arbeiten. Denn je kürzer die in der Photolithographie verwendete Wellenlänge ist, desto feinere mikroelektronische Strukturen können erzeugt werden. Höhere Integrationsdichten und leistungsfähigere Chips sind die Folge. Wie jede, hat auch diese Sache einen Haken: Strahlung um 13 Nanometer lässt sich wie die benachbarte Röntgenstrahlung mit den bisher verwendeten Optiken weder umlenken noch fokussieren. Einen Ausweg bieten gekrümmte Spiegel, die jedoch nicht einfach wie im heimischen Bad mit Aluminium oder Silber beschichtet sind, sondern mit vielen hundert, sich abwechselnden Schichten verschiedener Materialien. An jeder wird ein kleiner Teil der Strahlung reflektiert. Wissenschaftler vom Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik IWS waren froh, als sie im vergangenen Jahr bei der Reflektivität die Schallmauer von 70 Prozent durchbrachen.



Froh sind sie auch, dass sie für Messungen an ihren EUV-optischen Bauteilen nicht mehr ständig nach Berlin fahren müssen, um die Strahlenquelle des Berliner Elektronensynchrotrons BESSY zu nutzen. Denn inzwischen steht im Dresdner IWS ein Reflektometer - das erste europäische Messgerät dieser Art. Hier wie dort wird EUV-Strahlung nicht einfach mit gewöhnlichen Lampen erzeugt, wie Projektleiter Dr. Ludwig van Loyen erläutert: »Mit grünem Laserlicht schießen wir auf Gold. An der Metalloberfläche entsteht für kurze Zeit ein Plasma. Dieser Punkt, der nur etwa halb so dick ist wie ein menschliches Haar, emittiert EUV-Strahlung.« Weiter geht es in den Monochromator. Von griechisch »eine Farbe« abgeleitet, gewährleistet er, dass die gewünschte Wellenlänge zwischen 10 und 16 Nanometern sehr präzise selektiert wird.



Der auf diese Weise »gereinigte« Messstrahl tritt in die mannshohe Goniometerkammer ein. In diesem vakuumisierten Stahltank liegt beispielsweise ein EUV-Spiegel. Der Strahl trifft auf seine Oberfläche und die Reflexion gibt Auskunft über die optische Güte. »Natürlich benötigen wir Daten von allen Bereichen - und das unter verschiedenen Winkeln«, betont van Loyen. »Da der Strahl schlecht lenkbar ist, muss der maximal einen halben Meter große und 30 Kilo schwere Spiegel präzise und wiederholbar in allen Raumrichtungen bewegt werden - eine feinmechanische Meisterleistung.« Derzeit ist die Laboranlage in der Erprobungsphase. Noch in diesem Jahr soll sie beim Projektpartner Carl Zeiss im schwäbischen Oberkochen aufgebaut werden.

Ansprechpartner:

Dr. Ludwig van Loyen
Telefon 03 51 / 25 83-4 22
Fax 03 51 / 25 83-3 00
Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik IWS
Winterbergstraße 28
01277 Dresden

E-Mail: ludwig.van-loyen@iws.fraunhofer.de

Fraunhofer-Gesellschaft | Fraunhofer-Gesellschaft
Weitere Informationen:
http://www.fraunhofer.de/german/press/pi/index.html
http://www.iws.fraunhofer.de/

Weitere Berichte zu: EUV-Strahlung Nanometer Strahl Strahlung Wellenlänge

Weitere Nachrichten aus der Kategorie Materialwissenschaften:

nachricht Mikroplastik in Meeren: Hochschule Niederrhein forscht an biologisch abbaubarer Sport-Kleidung
18.09.2017 | Hochschule Niederrhein - University of Applied Sciences

nachricht Flexibler Leichtbau für individualisierte Produkte durch 3D-Druck und Faserverbundtechnologie
13.09.2017 | Fraunhofer-Institut für Produktionstechnologie IPT

Alle Nachrichten aus der Kategorie: Materialwissenschaften >>>

Die aktuellsten Pressemeldungen zum Suchbegriff Innovation >>>

Die letzten 5 Focus-News des innovations-reports im Überblick:

Im Focus: LaserTAB: Effizientere und präzisere Kontakte dank Roboter-Kollaboration

Auf der diesjährigen productronica in München stellt das Fraunhofer-Institut für Lasertechnik ILT das Laser-Based Tape-Automated Bonding, kurz LaserTAB, vor: Die Aachener Experten zeigen, wie sich dank neuer Optik und Roboter-Unterstützung Batteriezellen und Leistungselektronik effizienter und präziser als bisher lasermikroschweißen lassen.

Auf eine geschickte Kombination von Roboter-Einsatz, Laserscanner mit selbstentwickelter neuer Optik und Prozessüberwachung setzt das Fraunhofer ILT aus Aachen.

Im Focus: LaserTAB: More efficient and precise contacts thanks to human-robot collaboration

At the productronica trade fair in Munich this November, the Fraunhofer Institute for Laser Technology ILT will be presenting Laser-Based Tape-Automated Bonding, LaserTAB for short. The experts from Aachen will be demonstrating how new battery cells and power electronics can be micro-welded more efficiently and precisely than ever before thanks to new optics and robot support.

Fraunhofer ILT from Aachen relies on a clever combination of robotics and a laser scanner with new optics as well as process monitoring, which it has developed...

Im Focus: The pyrenoid is a carbon-fixing liquid droplet

Plants and algae use the enzyme Rubisco to fix carbon dioxide, removing it from the atmosphere and converting it into biomass. Algae have figured out a way to increase the efficiency of carbon fixation. They gather most of their Rubisco into a ball-shaped microcompartment called the pyrenoid, which they flood with a high local concentration of carbon dioxide. A team of scientists at Princeton University, the Carnegie Institution for Science, Stanford University and the Max Plank Institute of Biochemistry have unravelled the mysteries of how the pyrenoid is assembled. These insights can help to engineer crops that remove more carbon dioxide from the atmosphere while producing more food.

A warming planet

Im Focus: Hochpräzise Verschaltung in der Hirnrinde

Es ist noch immer weitgehend unbekannt, wie die komplexen neuronalen Netzwerke im Gehirn aufgebaut sind. Insbesondere in der Hirnrinde der Säugetiere, wo Sehen, Denken und Orientierung berechnet werden, sind die Regeln, nach denen die Nervenzellen miteinander verschaltet sind, nur unzureichend erforscht. Wissenschaftler um Moritz Helmstaedter vom Max-Planck-Institut für Hirnforschung in Frankfurt am Main und Helene Schmidt vom Bernstein-Zentrum der Humboldt-Universität in Berlin haben nun in dem Teil der Großhirnrinde, der für die räumliche Orientierung zuständig ist, ein überraschend präzises Verschaltungsmuster der Nervenzellen entdeckt.

Wie die Forscher in Nature berichten (Schmidt et al., 2017. Axonal synapse sorting in medial entorhinal cortex, DOI: 10.1038/nature24005), haben die...

Im Focus: Highly precise wiring in the Cerebral Cortex

Our brains house extremely complex neuronal circuits, whose detailed structures are still largely unknown. This is especially true for the so-called cerebral cortex of mammals, where among other things vision, thoughts or spatial orientation are being computed. Here the rules by which nerve cells are connected to each other are only partly understood. A team of scientists around Moritz Helmstaedter at the Frankfiurt Max Planck Institute for Brain Research and Helene Schmidt (Humboldt University in Berlin) have now discovered a surprisingly precise nerve cell connectivity pattern in the part of the cerebral cortex that is responsible for orienting the individual animal or human in space.

The researchers report online in Nature (Schmidt et al., 2017. Axonal synapse sorting in medial entorhinal cortex, DOI: 10.1038/nature24005) that synapses in...

Alle Focus-News des Innovations-reports >>>

Anzeige

Anzeige

IHR
JOB & KARRIERE
SERVICE
im innovations-report
in Kooperation mit academics
Veranstaltungen

Legionellen? Nein danke!

25.09.2017 | Veranstaltungen

Posterblitz und neue Planeten

25.09.2017 | Veranstaltungen

Hochschule Karlsruhe richtet internationale Konferenz mit Schwerpunkt Informatik aus

25.09.2017 | Veranstaltungen

 
VideoLinks
B2B-VideoLinks
Weitere VideoLinks >>>
Aktuelle Beiträge

Legionellen? Nein danke!

25.09.2017 | Veranstaltungsnachrichten

Hochvolt-Lösungen für die nächste Fahrzeuggeneration!

25.09.2017 | Seminare Workshops

Seminar zum 3D-Drucken am Direct Manufacturing Center am

25.09.2017 | Seminare Workshops