Forum für Wissenschaft, Industrie und Wirtschaft

Hauptsponsoren:     3M 
Datenbankrecherche:

 

Innovation für die Chip-Produktion

03.07.2006
Universität Jena und Magdeburger Firma verbessern Komponente der Halbleiterfertigung

Groß wie eine Pizza sind die Silizium-Wafer, auf denen heute Chips produziert werden. Doch anders als Pizzen müssen die Wafer fast absolut eben sein. Befindet sich bei der Pizza der Belag geschichtet auf dem Teig, so verlaufen die Kontakte zwischen den Halbleitern im "Wafer-Teig". Diese Vernetzung in der "Silizium-Pizza" hat derzeit im Durchschnitt eine Strukturbreite von 90 Nanometern (nm). Das ist im Vergleich zu einem Meter so klein, wie ein Völkerball neben der Erde. Wird es wesentlich unebener, ist ein fertig prozessierter 300 mm-Wafer, der etwa so viel wie ein Porsche kostet, nicht mehr zu gebrauchen. Derzeit ist die Ausbeute bei dieser Produktionslinie noch relativ niedrig.


Der neu entwickelte 300 mm-Wafer-Chuck. Foto: IGAM

Materialwissenschaftler der Universität Jena haben in den letzten vier Jahren die Magdeburger Firma IGAM dabei unterstützt, die Wafer-Fertigung zu verbessern. Dort sind nach fast siebenjähriger Forschungs- und Entwicklungsphase aktiv verstellbare Wafer-Halter, so genannte Chucks, entstanden.

Die "Piezo-Chucks" seiner Firma, betont IGAM-Geschäftsführer Dr. Christian-Toralf Weber, ermöglichen zum einen "mehr Flexibilität in der Produktion". Außerdem sollen bis 2010 die Strukturbreiten auf unter 50 nm gesenkt - bei einer Toleranz von 10 nm - und die Ausschussrate reduziert werden.

Mittel für diese deutliche Qualitätsverbesserung und Kostenersparnis sind die neu entwickelten und seit 2002 gemeinsam mit der Universität Jena patentierten Piezo-Chucks, die vor kurzem mit dem 2. Platz beim 2006er Innovationspreis Sachsen-Anhalts ausgezeichnet wurden und vom 10. bis 14. Juli auf der renommierten Halbleitermesse "Semicon West" in San Francisco (USA) ausgestellt werden.

Für die Herstellung von Chips aus Wafern wird eine spezielle Poliertechnologie angewandt. Dieses hochkomplexe Abtragsverhalten, das durch Materialunterschiede, lokale Verformungen und Polierdrücke beeinflusst wird, kann durch den Piezo-Chuck stabilisiert und verfeinert werden. Denn dank seiner individuellen Reaktionsfähigkeit kann gezielt Druck auf den Wafer ausgeübt und im Nanometerbereich justiert werden. Dabei ist die Elektronik mit Prozessor und Datenübertragungsmodul auf dem Polierwerkzeug angebracht.

IGAM setzt in seinem Chuck Piezokeramik-Aktoren ein: 39 Stück bei einem 300 mm-Waferchuck. Diese können frei angesteuert und einzeln durch Strom verformt werden, um die Verformung des Wafers zielgerichtet zu beeinflussen.

Dieses Kernstück der Magdeburger Innovation ist im Institut für Materialwissenschaft und Werkstofftechnologie der Universität Jena getestet und weiterentwickelt worden. Das Team um Projektleiter Dr. Volker Herold konnte für die komplizierte Messung der Druckverteilung zwischen Wafer und Poliertuch auf die speziellen Messgeräte und Werkzeugmaschinen des Instituts zur Präzisionsbearbeitung von Oberflächen zurückgreifen - und auf Erfahrung. Das und das "hier vorhandene breite Anwendungswissen" in Optik, Mess- und Fertigungstechnik war für Weber ein wichtiger Grund, die Jenaer Universität als Partner zu gewinnen.

Bei diesem Entwicklungsprojekt stand auch Herolds Team vor neuen Herausforderungen: Wie messe ich die Oberflächenform des Wafer-Chucks unter Betriebsbedingungen, da die Oberfläche ja nicht frei zugänglich ist? Und wie justiert man das System? waren nur zwei von zahlreichen Fragen, auf die die Jenaer Materialexperten nun Antworten haben - und nebenbei ein spezielles berührungsloses Messverfahren entwickelten. "Die Präzisionsbearbeitung und die Bewertung der Geometrie waren der maßgebliche Anteil, der in Jena geleistet wurde", unterstreicht Weber.

Nun geht das Gerät in Dresden in die Erprobungsphase, um eine industrienahe Produktion zu testen. Doch während der "Prototyp" nun seinen Industrie-Test durchläuft und auf den Serieneinsatz hofft, haben IGAM und die Jenaer Materialwissenschaftler inzwischen eine komplette Reihe von Wafer-Chucks entwickelt. Auch wenn sich zukünftige Entwicklungen auf 300 mm-Wafer konzentrieren, so haben die kleineren Dimensionen doch noch eine große wirtschaftliche Bedeutung. Dafür können die Partner mittlerweile auch Chucks für 150 mm-, 200 mm- und 300 mm-Wafer zur Verfügung stellen.

Flexibilität und Auswahl haben halt große wirtschaftliche Bedeutung: in der Chip-Fertigung wie beim (Pizza-)Essen.

Kontakt:
Dr. Volker Herold
Institut für Materialwissenschaft und Werkstofftechnologie der Universität Jena
Löbdergraben 32, 07743 Jena
Tel.: 03641 / 947753
E-Mail: volker.herold@uni-jena.de
Dr. Christian-Toralf Weber
IGAM - Ingenieurgesellschaft für angewandte Mechanik mbH
Steinfeldstr. 3-5, 39179 Barleben/Magdeburg
Tel.: 039203 / 898980
E-Mail: weber@igam-mbh.de

Axel Burchardt | idw
Weitere Informationen:
http://www.uni-jena.de/

Weitere Berichte zu: Materialwissenschaft Piezo-Chuck

Weitere Nachrichten aus der Kategorie Maschinenbau:

nachricht Elektrische Spannung: Kaiserslauterer Ingenieure erforschen Versagen bei Kugellagern
28.03.2017 | Technische Universität Kaiserslautern

nachricht Modulares Fertigungssystem für Kettenräder
15.03.2017 | EMAG GmbH & Co. KG

Alle Nachrichten aus der Kategorie: Maschinenbau >>>

Die aktuellsten Pressemeldungen zum Suchbegriff Innovation >>>

Die letzten 5 Focus-News des innovations-reports im Überblick:

Im Focus: Entwicklung miniaturisierter Lichtmikroskope - „ChipScope“ will ins Innere lebender Zellen blicken

Das Institut für Halbleitertechnik und das Institut für Physikalische und Theoretische Chemie, beide Mitglieder des Laboratory for Emerging Nanometrology (LENA), der Technischen Universität Braunschweig, sind Partner des kürzlich gestarteten EU-Forschungsprojektes ChipScope. Ziel ist es, ein neues, extrem kleines Lichtmikroskop zu entwickeln. Damit soll das Innere lebender Zellen in Echtzeit beobachtet werden können. Sieben Institute in fünf europäischen Ländern beteiligen sich über die nächsten vier Jahre an diesem technologisch anspruchsvollen Projekt.

Die zukünftigen Einsatzmöglichkeiten des neu zu entwickelnden und nur wenige Millimeter großen Mikroskops sind äußerst vielfältig. Die Projektpartner haben...

Im Focus: A Challenging European Research Project to Develop New Tiny Microscopes

The Institute of Semiconductor Technology and the Institute of Physical and Theoretical Chemistry, both members of the Laboratory for Emerging Nanometrology (LENA), at Technische Universität Braunschweig are partners in a new European research project entitled ChipScope, which aims to develop a completely new and extremely small optical microscope capable of observing the interior of living cells in real time. A consortium of 7 partners from 5 countries will tackle this issue with very ambitious objectives during a four-year research program.

To demonstrate the usefulness of this new scientific tool, at the end of the project the developed chip-sized microscope will be used to observe in real-time...

Im Focus: Das anwachsende Ende der Ordnung

Physiker aus Konstanz weisen sogenannte Mermin-Wagner-Fluktuationen experimentell nach

Ein Kristall besteht aus perfekt angeordneten Teilchen, aus einer lückenlos symmetrischen Atomstruktur – dies besagt die klassische Definition aus der Physik....

Im Focus: Wegweisende Erkenntnisse für die Biomedizin: NAD⁺ hilft bei Reparatur geschädigter Erbinformationen

Eine internationale Forschergruppe mit dem Bayreuther Biochemiker Prof. Dr. Clemens Steegborn präsentiert in 'Science' neue, für die Biomedizin wegweisende Forschungsergebnisse zur Rolle des Moleküls NAD⁺ bei der Korrektur von Schäden am Erbgut.

Die Zellen von Menschen und Tieren können Schäden an der DNA, dem Träger der Erbinformation, bis zu einem gewissen Umfang selbst reparieren. Diese Fähigkeit...

Im Focus: Designer-Proteine falten DNA

Florian Praetorius und Prof. Hendrik Dietz von der Technischen Universität München (TUM) haben eine neue Methode entwickelt, mit deren Hilfe sie definierte Hybrid-Strukturen aus DNA und Proteinen aufbauen können. Die Methode eröffnet Möglichkeiten für die zellbiologische Grundlagenforschung und für die Anwendung in Medizin und Biotechnologie.

Desoxyribonukleinsäure – besser bekannt unter der englischen Abkürzung DNA – ist die Trägerin unserer Erbinformation. Für Prof. Hendrik Dietz und Florian...

Alle Focus-News des Innovations-reports >>>

Anzeige

Anzeige

IHR
JOB & KARRIERE
SERVICE
im innovations-report
in Kooperation mit academics
Veranstaltungen

Industriearbeitskreis »Prozesskontrolle in der Lasermaterialbearbeitung ICPC« lädt nach Aachen ein

28.03.2017 | Veranstaltungen

Neue Methoden für zuverlässige Mikroelektronik: Internationale Experten treffen sich in Halle

28.03.2017 | Veranstaltungen

Wie Menschen wachsen

27.03.2017 | Veranstaltungen

 
VideoLinks
B2B-VideoLinks
Weitere VideoLinks >>>
Aktuelle Beiträge

Hannover Messe: Elektrische Maschinen in neuen Dimensionen

28.03.2017 | HANNOVER MESSE

Dimethylfumarat – eine neue Behandlungsoption für Lymphome

28.03.2017 | Medizin Gesundheit

Antibiotikaresistenz zeigt sich durch Leuchten

28.03.2017 | Biowissenschaften Chemie