Forum für Wissenschaft, Industrie und Wirtschaft

Hauptsponsoren:     3M 
Datenbankrecherche:

 

Wafer-Technologie: Dünner als Papier

19.02.2002


Eine Innovation aus dem BMWi-Programm "Innovationskompetenz
mittelständischer Unternehmen" (PRO INNO)

Die Zukunft der Industriestaaten ist auf Sand gebaut, genauer: auf Wafer aus hochreinem Silizium-Quarzsand. Aus den runden Scheiben mit bis zu 30 Zentimetern Durchmesser werden nach Hunderten von Prozessschritten Mikrochips. Die Chip-Strukturen werden in ultradünnen Schichten mittels photolithographischer Nassprozesse erzeugt: Die Mikroprozessor-Bauelemente entstehen durch das mehrfache Auftragen, Belichten und Fixieren der Lackschichten. Mit Unterstützung der Arbeitsgemeinschaft industrieller Forschungsvereinigungen "Otto von Guericke" (AiF) hat die Firma B.L.E. Laboratory Equipment aus Singen in Zusammenarbeit mit der Firma Sieghard Schiller aus Sonnenbühl (beide in Baden-Württemberg) ein High-Speed-Spin-Track-System namens Acrobat für besonders schlanke Mikroprozessoren entwickelt: Die Prototypanlage erlaubt die Bearbeitung feinster Schichten auf bis zu 120 Wafern pro Stunde bei äußerst geringen Umrüstzeiten der Maschine.

Die bisherigen Systeme sind für Schichtdicken von rund 800 Mikrometern ausgelegt und werden den Anforderungen der Kunden wegen des immer komplizierteren Schichtaufbaus der Mikroprozessoren immer weniger gerecht. Zudem sind die alten Maschinen bei wechselnden Prozessanforderungen nur beschränkt einsetzbar. Acrobat wird beim Belacken, Entwickeln und Reinigen der Substrate eingesetzt und ermöglicht die Bearbeitung von Wafern mit 70 bis 300 Mikrometer dünnen Schichten - so fein wie ein Haar. Während B.L.E. die Gesamtanlage konzipierte, Bearbeitungsmodule konstruierte und ihre Steuerungen entwickelte, schuf Sieghard Schiller eine Lösung für das Handling verschieden dünner Wafer mittels eines Vakuumsystems, das die Wafer mit hohen Geschwindigkeiten bei den erforderlichen Genauigkeiten vibrations- und erschütterungsarm bewegt.

Siliziumplättchen, die nur noch halb so dick wie Papier sind und mit Acrobat problemlos erzeugt werden können, sind besonders bei Chipkarten-Herstellern sehr gefragt, da das spröde Material Silizium auf diese Weise in äußerst biegsame Karten integriert werden könnte. Aber auch zur Einarbeitung in Verkaufsverpackungen zwecks Kennzeichnung und für das Labelling von Textilien sind besonders dünne Mikrochips notwendig.

Ansprechpartner: Pirmin Muffler, B.L.E. GmbH, Tel.: 07731 185-0

Pressearbeit: AiF, Silvia Behr, E-Mail: presse@aif.de, Tel.: 0221 37680-55

Silvia Behr | idw
Weitere Informationen:
http://www.aif.de/

Weitere Berichte zu: Acrobat Schicht Wafer

Weitere Nachrichten aus der Kategorie Informationstechnologie:

nachricht Forschungsprojekt: Zukünftige Fahrzeugtechnologien im Open Region Lab – ZuFOR
30.03.2017 | Ostfalia Hochschule für angewandte Wissenschaften

nachricht Schnelle Time-to-Market durch standardisierte Datacenter-Container
28.03.2017 | Rittal GmbH & Co. KG

Alle Nachrichten aus der Kategorie: Informationstechnologie >>>

Die aktuellsten Pressemeldungen zum Suchbegriff Innovation >>>

Die letzten 5 Focus-News des innovations-reports im Überblick:

Im Focus: Atome rennen sehen - Phasenübergang live beobachtet

Ein Wimpernschlag ist unendlich lang dagegen – innerhalb von 350 Billiardsteln einer Sekunde arrangieren sich die Atome neu. Das renommierte Fachmagazin Nature berichtet in seiner aktuellen Ausgabe*: Wissenschaftler vom Center for Nanointegration (CENIDE) der Universität Duisburg-Essen (UDE) haben die Bewegungen eines eindimensionalen Materials erstmals live verfolgen können. Dazu arbeiteten sie mit Kollegen der Universität Paderborn zusammen. Die Forscher fanden heraus, dass die Beschleunigung der Atome jeden Porsche stehenlässt.

Egal wie klein sie sind, die uns im Alltag umgebenden Dinge sind dreidimensional: Salzkristalle, Pollen, Staub. Selbst Alufolie hat eine gewisse Dicke. Das...

Im Focus: Kleinstmagnete für zukünftige Datenspeicher

Ein internationales Forscherteam unter der Leitung von Chemikern der ETH Zürich hat eine neue Methode entwickelt, um eine Oberfläche mit einzelnen magnetisierbaren Atomen zu bestücken. Interessant ist dies insbesondere für die Entwicklung neuartiger winziger Datenträger.

Die Idee ist faszinierend: Auf kleinstem Platz könnten riesige Datenmengen gespeichert werden, wenn man für eine Informationseinheit (in der binären...

Im Focus: Quantenkommunikation: Wie man das Rauschen überlistet

Wie kann man Quanteninformation zuverlässig übertragen, wenn man in der Verbindungsleitung mit störendem Rauschen zu kämpfen hat? Uni Innsbruck und TU Wien präsentieren neue Lösungen.

Wir kommunizieren heute mit Hilfe von Funksignalen, wir schicken elektrische Impulse durch lange Leitungen – doch das könnte sich bald ändern. Derzeit wird...

Im Focus: Entwicklung miniaturisierter Lichtmikroskope - „ChipScope“ will ins Innere lebender Zellen blicken

Das Institut für Halbleitertechnik und das Institut für Physikalische und Theoretische Chemie, beide Mitglieder des Laboratory for Emerging Nanometrology (LENA), der Technischen Universität Braunschweig, sind Partner des kürzlich gestarteten EU-Forschungsprojektes ChipScope. Ziel ist es, ein neues, extrem kleines Lichtmikroskop zu entwickeln. Damit soll das Innere lebender Zellen in Echtzeit beobachtet werden können. Sieben Institute in fünf europäischen Ländern beteiligen sich über die nächsten vier Jahre an diesem technologisch anspruchsvollen Projekt.

Die zukünftigen Einsatzmöglichkeiten des neu zu entwickelnden und nur wenige Millimeter großen Mikroskops sind äußerst vielfältig. Die Projektpartner haben...

Im Focus: A Challenging European Research Project to Develop New Tiny Microscopes

The Institute of Semiconductor Technology and the Institute of Physical and Theoretical Chemistry, both members of the Laboratory for Emerging Nanometrology (LENA), at Technische Universität Braunschweig are partners in a new European research project entitled ChipScope, which aims to develop a completely new and extremely small optical microscope capable of observing the interior of living cells in real time. A consortium of 7 partners from 5 countries will tackle this issue with very ambitious objectives during a four-year research program.

To demonstrate the usefulness of this new scientific tool, at the end of the project the developed chip-sized microscope will be used to observe in real-time...

Alle Focus-News des Innovations-reports >>>

Anzeige

Anzeige

IHR
JOB & KARRIERE
SERVICE
im innovations-report
in Kooperation mit academics
Veranstaltungen

Industriearbeitskreis »Prozesskontrolle in der Lasermaterialbearbeitung ICPC« lädt nach Aachen ein

28.03.2017 | Veranstaltungen

Neue Methoden für zuverlässige Mikroelektronik: Internationale Experten treffen sich in Halle

28.03.2017 | Veranstaltungen

Wie Menschen wachsen

27.03.2017 | Veranstaltungen

 
VideoLinks
B2B-VideoLinks
Weitere VideoLinks >>>
Aktuelle Beiträge

Nierentransplantationen: Weisse Blutzellen kontrollieren Virusvermehrung

30.03.2017 | Biowissenschaften Chemie

Zuckerrübenschnitzel: der neue Rohstoff für Werkstoffe?

30.03.2017 | Materialwissenschaften

Integrating Light – Your Partner LZH: Das LZH auf der Hannover Messe 2017

30.03.2017 | HANNOVER MESSE