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Princeton-Forscher "druckt" Chips mit zehn Nanometer-Strukturgröße

21.06.2002


Quarzstempel kürzt Herstellungsdauer auf Sekundenbruchteile ab


Wissenschafter der Princeton University haben eine Methode gefunden, Computerchips mit einer Strukturgröße von zehn Nanometern in Sekundenbruchteilen herzustellen. Bisherige Verfahren mit Laser-Lithografie benötigen bis zu zwanzig Minuten. Forschungsleiter Stephen Chou benannte seine Methode Laser-Assisted Direct Imprint (LADI).

Chou ätzte die gewünschten Strukturen in eine für Laser transparente Quarzform, die er danach gegen das Silizium presste. Ein Laserblitz schmilzt das Silizium an der Oberfläche des Wafers, das sich daraufhin dem Stempel anpasst. Das Silizium bleibt aber nicht am Quarz kleben. "Die allgemeine Vorstellung ist, dass ein mechanischer Prozess sehr langsam ist. Allerdings wusste ich, dass es dafür keine wissenschaftlichen Beweise gibt", erklärte Chou.


Chou hat seine Methode, mit der sich mehrere Arbeitsschritte in der Chiperzeugung überspringen lassen, in der aktuellen Ausgabe von Nature veröffentlicht. Neben dem geringeren Zeitbedarf bietet das Verfahren eine Reihe von Vorteilen wie den geringeren Bedarf an umweltbelastenden Chemikalien. Gleichzeitig wird die physikalische Grenze der optischen Lithografie, die keine kleineren Strukturen als die Wellenlänge des eingesetzten Lasers erlaubt, umgangen.

Dominik Schebach | pte.online
Weitere Informationen:
http://www.princeton.edu/pr/news/02/q2/0619-ladi.htm

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