Verfahren zur Herstellung hochpräziser Mikrobauteile

Anwendungen finden sich in der Nachrichtentechnik, der medizinischen Diagnostik oder Automatisierung, um nur einige zu nennen.Das LIGA–Verfahren ermöglicht die Herstellung von Mikrobauteilen mit nahezu beliebigen lateralen Geometrien und großer Strukturhöhe aus den Materialien Kunststoff, Metall und Keramik, und deckt so den Bereich der „Nicht-Silizium“-Materialien ab. Im LIGA-Verfahren werden die Prozesse Lithographie, Galvanik und Abformung bedarfsabhängig kombiniert. Mit Seitenwandrauhigkeiten unter 50 Nanometer, Seitenwandvertikalitäten kleiner 0,5° und metrischen Genauigkeiten deutlich unter 1 Mikrometer wird auch die für die Mikrooptik unverzichtbare Präzision mit dem Verfahren erzielt.

Eine günstige Fertigung großer Stückzahlen kann mittels Rapid Prototyping oder Replikationsverfahren erfolgen.

Anwendern ermöglicht das LIGA-Verfahren den Vorstoß in neue Dimensionen der Miniaturisierung und die Erschließung neuer Anwendungen.

Dr. Manuella Werp
Forschungszentrum Karlsruhe GmbH
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