Dreidimensionaler Mikrotaster auf Basis von Silicium-Feder-Parallelogrammen

Das Anwendungsgebiet dieses neuen Mikrotasters ist die Messtechnik. Der neue Mikrotaster basiert auf einer seriellen und zueinander orthogonalen Anordnung von drei Federparallelogrammen. Gegenstand der neuen Technologie ist auch ein Verfahren zur Herstellung des Mikrotasters.
Der neue Mikrotaster bietet folgenden Nutzen: Vollständige und hochgenaue Erfassung von 3D-Mikrostrukturen, isotropes mechanisches Verhalten sowie hohe Belastbarkeit und Bruchsicherheit.

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