Aerostatischer Direktantrieb
Die Technologie betrifft einen aerostatischen Direktantrieb mit einer Positionierachse, die eine Positionierung von Mikrobauteilen mit Genauigkeiten im Nanometerbereich ermöglicht.
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EZN Erfinderzentrum Norddeutschland GmbH
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Dipl.-Ing. Andreas Deutsch
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