SCHOTT stellt auf der Photonics West innovative FOTURAN<sup>®</sup> II Glaswafer vor

Die lichtempfindlichen FOTURAN<sup>®</sup> II Glaswafer von SCHOTT können in drei Schritten strukturiert und weiterverarbeitet werden: UV-Belichtung, Tempern, Ätzen und Keramisierung (optional)

Der internationale Technologiekonzern und Glasexperte SCHOTT führt auf der SPIE Photonics West das deutlich verbesserte fotosensible Glas FOTURAN® II in den Markt ein und hebt damit sein erweitertes Portfolio bei dünnen und ultradünnen Glaswafern hervor. FOTURAN® II zeichnet sich durch eine höhere Fotosensibilität und Homogenität aus.

Diese einzigartigen Eigenschaften ermöglichen bessere Geometrieverhältnisse und versetzen Hersteller von Hochfrequenzkomponenten (Radio Frequency / RF) und Mikro-Elektromechanischen Systemen (MEMS) sowie die Biotechnologie in die Lage, Substrate mit deutlich feineren Mikrostrukturen für verschiedene Anwendungen zu fertigen. SCHOTT präsentiert die neuen FOTURAN® II Wafer erstmals auf der SPIE Photonics West vom 16. bis 18. Februar in San Francisco (Stand 1314).

SCHOTT ist ein Vorreiter auf dem Gebiet fotosensibles Glas. Seit über 30 Jahren hat sich FOTURAN® Glas von SCHOTT als Spezialmaterial bewährt, wann immer die Herstellung von Substraten mit extrem feinen Strukturen ohne die in der Lithographie zum Einsatz kommenden Fotolacke gefragt ist. Bewährt hat sich FOTURAN® in verschiedenen Anwendungsgebieten der Mikrosystemtechnologie, Halbleiterindustrie, Telekommunikation, Hochfrequenzanwendungen, in der Mikrofluidik und Mikrooptik sowie bei MEMS-Sensoren.

Strukturierte FOTURAN® II Substrate ermöglichen bei Hochfrequenzanwendungen zum Beispiel Speicherdrosseln mit einer geringen Grundfläche, hohem Q Faktor und hoher Eigenresonanzfrequenz. In der Biotechnologie gewinnt die Mikrofluidik immer größere Bedeutung, zum Beispiel in der medizinischen Diagnostik, Biomedizin-Forschung sowie bei der Wirkstoffabgabe und -synthese.

Hier kann FOTURAN® II zur Produktion von wiederverwendbaren, leicht zu reinigenden und durchsichtigen Titerplatten verwendet werden. Auf dem Gebiet der Flusssensoren ermöglicht die gute Strukturierbarkeit von FOTURAN® II Wafern die Konstruktion von Sensoren mit geringer thermischer Masse, ultraschnellen Reaktionszeiten und sehr guter chemischer Stabilität, was bei Sensoren auf Silikonbasis so nicht möglich ist. Darüber hinaus können strukturierte FOTURAN® II Substrate in Standardverfahren für die Fertigung und das “Packaging“ von Halbleiter-Chips eingesetzt werden.

Verbesserter Produktionsprozess führt zu höherem Nutzen

Ein neues Fertigungsverfahren ermöglicht eine gleichmäßige und reproduzierbare Fotosensibilität bei FOTURAN® II Wafern.

“Diese besonderen Eigenschaften ermöglichen Experten in Forschung und Industrie, aus FOTURAN® II Wafern Substrate mit deutlich feineren Mikrostrukturgrößen mit bisher unerreichten Geometrieverhältnissen im Mikrometerbereich herzustellen“, erläutert Fredrik Prince, Leiter des Strategischen Geschäftsfelds Thin Glass & Wafers.

„Diese Merkmale versetzen Ingenieure in die Lage, leistungsfähigere Komponenten in einem breiten Anwendungsspektrum zu entwickeln, das von Halbleitern bis zur Biotechnologie reicht. Zugleich forcieren sie die Tendenz zur weiteren Miniaturisierung vieler Technologien.“

FOTURAN® II Wafer sind standardmäßig in runder Form mit 6 und 8 Zoll Durchmesser und in quadratischer Form in Abmessungen bis 200 x 200 Millimeter sowie Dicken von 0,5 bis 1 Millimeter lieferbar.

Sie können in drei Schritten strukturiert und weiterverarbeitet werden: UV-Belichtung, (mit Standardausrüstung der Lithographie ohne Einsatz von Fotolacken), Tempern und Ätzen. Optional ist als weiterer Schritt die Keramisierung der Substrate möglich, wenn eine höhere Temperaturstabilität erforderlich ist.

Weitere Informationen: www.schott.com/advanced_optics/german/products/optical-materials/thin-glass/foturan-2/index.html

FOTURAN® ist eine eingetragene Marke der SCHOTT AG.

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ÜBER SCHOTT

SCHOTT ist ein international führender Technologiekonzern auf den Gebieten Spezialglas und Glaskeramik. Mit der Erfahrung von über 130 Jahren herausragender Entwicklungs-, Material- und Technologiekompetenz bietet das Unternehmen ein breites Portfolio hochwertiger Produkte und intelligenter Lösungen an. Damit ist SCHOTT ein innovativer Partner für viele Branchen, zum Beispiel die Hausgeräteindustrie, Pharmazie, Elektronik, Optik, Automotive und Aviation. SCHOTT hat das Ziel, mit seinen Produkten zu einem wichtigen Bestandteil im Leben jedes Menschen zu werden. Das Unternehmen setzt auf Innovationen und nachhaltigen Erfolg. Mit Produktions- und Vertriebsstandorten in 35 Ländern ist der Konzern weltweit präsent. Rund 15.000 Mitarbeiter erwirtschafteten im Geschäftsjahr 2014/2015 einen Umsatz von 1,93 Milliarden Euro. Die Muttergesellschaft SCHOTT AG hat ihren Hauptsitz in Mainz und ist zu 100 Prozent im Besitz der Carl-Zeiss-Stiftung. Als Stiftungsunternehmen nimmt SCHOTT eine besondere Verantwortung für Mitarbeiter, Gesellschaft und Umwelt wahr.

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