Wettbewerb NanoMikro+Werkstoffe: Forscher entwickeln neues Verfahren zur Herstellung von Nanoprodukten

Ein neuartiges Verfahren eröffnet der Herstellung von Nano- und Mikroprodukten neue Möglichkeiten: Durch die Entwicklung von innovativen Produktionswerkzeugen soll die Bearbeitung von Siliziumplatten, die beispielsweise Grundlage sind für Sensoren in Computerchips oder der Motorsteuerung, vereinfacht und kostengünstiger gemacht werden.

Für die Entwicklung dieses Verfahrens stellt das Innovationsministerium in den nächsten drei Jahren 900.000 Euro zur Verfügung. Innovationsminister Prof. Andreas Pinkwart gratulierte dem Forscherteam zu diesem Erfolg.

Das Vorhaben gehört zu den Gewinnern des Wettbewerbs NanoMikro+ Werkstoffe.NRW. In dem 2008 erstmalig ausgelobten Wettbewerb des Innovationsministeriums werden branchenübergreifend Vorhaben im Bereich der Nano- und Mikrotechnologien sowie der innovativen Werkstoffe gefördert. Bis 2013 stehen dafür bis zu 121 Millionen Euro in zwei Wettbewerbsrunden aus dem NRW-EU-Ziel2-Programm zur Verfügung.

Eine Wettbewerbsrunde ist bereits abgeschlossen, die nächste Ausschreibung startet im Herbst 2009. Landesweit hatten sich 75 Hochschulen, Forschungseinrichtungen und Unternehmen an der ersten Ausschreibung des Wettbewerbs beteiligt. Eine Jury unter dem Vorsitz von Professor Dr. Klaus Peter Wittern, Universität Hamburg und Forschungsleiter der Beiersdorf AG Hamburg, hat die Gewinnervorhaben ausgewählt.

Um ein mikro- und nanostruktuiertes Produkt herzustellen, müssen die Nanostrukturen in große Siliziumplatten eingebracht werden. Dafür müssen die Platten frei von kleinsten Unebenheiten sein. Bislang werden für die Herstellung zweidimensional strukturierte Masken und Stempel als Produktionswerkzeuge benötigt, die nur unter sehr hohen Kosten gefertigt werden können.

Das Dortmunder Unternehmen Raith GmbH will gemeinsam mit der Technischen Universität Dortmund und der ebenfalls in Dortmund ansässigen temicon GmbH eine kostengünstige Alternative zu den bestehenden Produktionsverfahren entwickeln, dabei zusätzlich über dreidimensionale Strukturierung neue Anwendungsfelder erschließen und dies dann zur Marktreife bringen.