Ätzlösung zum Mattierungsätzen von Siliziumsubstraten
In der Halbleiterindustrie werden die Oberflächen von Siliziumsubstraten aufgerauht, um eine optimale Haftung weiterer notwendiger Schichten und Bindungen zu gewährleisten. In der Solarindustrie werden zur Erhöhung des Wirkungsgrades bzw. der Verringerung der Reflexion von Si-Wafern die Oberflächen mattiert. Vorgestellt werden ein neuartiges Verfahren und ein Ätzkit zum Mattierungsätzen von Siliziumsubstraten.
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ESA Patentverwertungsagentur Sachsen-Anhalt GmbH
Tel.: +49 (0)391/8 10 72 20
Ansprechpartner
Dr. Stefan Schünemann
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