Verfahren zum Testen von Halbleiterstrukturen

Die Erfindung Verbessert die Unterdrückung von Reflexionswellen beliebiger Richtung und Polarität im Zusammenhang mit der Prüfung von Halbleiterstrukturen auf spannungsfestigkeit bzw. durchbruchverhalten.

Weitere Informationen: PDF

GWT-TUD GmbH; FB Sächsische PatentVerwertungsAgentur (SPVA)
Tel.: 0351-8734 1725

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Jens Voigt

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