Simultanes Ätzen unterschiedlich dotierter Bereiche bei der Produktion von Solarzellen

Die selektive Rückätzung unterschiedlich polarisiert dotierter Teilbereiche, mit ggf. zusätzlich verschieden hoher Dotierungskonzentration, erfolgt bei der Herstellung von Solarzellen standardmäßig in mehreren getrennten Maskierungs- und Ätzschritten.
Ein neues Verfahren könnte es nun ermöglichen, die Rückätzung aller Dotierungsbereiche in einem einzigen ggf. maskierten Ätzschritt simultan durchzuführen. Das Verfahren ist bei verschiedensten Solarzellenkonzepten anwendbar und verringert den Zeit-, Material- und Prozessaufwand.

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Technologie-Lizenz-Büro (TLB) der Baden-Württembergischen Hochschulen GmbH
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