Polymerbeschichtung – Ortsselektive Deposition leitfähiger und isolierender Polymere aus der Gasphase

Elektronische und optoelektronische Geräte aus Plastik gewinnen in der heutigen Zeit immer stärker an Bedeutung, wie organische Leuchtdioden (OLEDs) in Handy-Displays und erste Prototypen von flexiblen und aufrollbaren Displays für Zeitschriften eindrucksvoll demonstrieren.

In den meisten Anwendungen solcher organischen oder hybriden Bauelemente werden Polymere aus entsprechenden Lösungen auf planare Oberflächen aufgebracht. Dabei werden in der Regel einfache Verfahren wie spin-coating, dip-coating oder drop-casting angewendet, welche die Herstellung homo-gener Filme mit einstellbarer Dicke im Bereich weniger Nanometer bis vieler Mikrometer erlauben. Das hier vorgestellt Verfahren ermöglicht durch photolytische Prozesse in Kombination mit einem CVD-Verfahren die ortsselektive Deposition sowohl bestimmter leitfähiger als auch einiger isolierender Polymere direkt aus der Gasphase. Die Deposition geschieht dabei direkt nur an den Orten auf dem Substrat, wo ihre Funktionalität benötigt wird. Dadurch wird sowohl Material bei der Herstellung einge-spart als auch die aufwändige Prozessierung einschließlich Lithographietechnik stark reduziert. Die neue Methode lässt sich mit bereits bekannten Methoden zur ortsselektiven Deposition anderer Polymerarten direkt in einem Herstellungsprozess kombinieren, so dass hiermit erstmals die Herstel-lung komplexer organischer oder hybrider Bauelemente mit wenigen Prozessierungsschritten möglich wird.

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