Optische Vermessung von Oberflächen und verborgenen Probenstrukturen
Verfahren zur hochauflösenden und hochpräzisen Vermessung von Oberflächen und / oder verborgenen Probenstrukturen verschiedener Größenordnungen. Grenz- oder Oberflächen können nicht nur mit einer Genauigkeit von einigen Nanometern bis Subnanometern vermessen werden, sondern auch Strukturen, die einige Mikrometer hoch sind. Anwendungsdemonstration: Vermessung von Halbleiterproben.
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rubitec – Gesellschaft für Innovation und Technologie der Ruhr-Universität Bochum mbH
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Dietmar Tappe
Der TechnologieAllianz e.V. als Verband deutscher Technologie- und Patentverwertungs-Agenturen erschließt Unternehmen das gesamte Spektrum innovativer Forschungsergebnisse nahezu aller deutschen Hochschulen und diverser außeruniversitärer Forschungsstätten. Über 2.000 verschiedene, in der Regel bereits patentierte Technologie-Angebote aus 14 Branchen stehen Unternehmen zur Verfügung, um ihnen einen Zeitvorsprung am Markt zu sichern. Unter www.technologieallianz.de bieten die Mitglieder der TechnologieAllianz einen kostenlosen, schnellen und unbürokratischen Zugang zu allen weiteren Angeboten der deutschen Forschungslandschaft ebenso wie gezielte Unterstützung zur erfolgreichen Vermittlung der Technologien.
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