Optische Vermessung von Oberflächen und verborgenen Probenstrukturen
Verfahren zur hochauflösenden und hochpräzisen Vermessung von Oberflächen und / oder verborgenen Probenstrukturen verschiedener Größenordnungen. Grenz- oder Oberflächen können nicht nur mit einer Genauigkeit von einigen Nanometern bis Subnanometern vermessen werden, sondern auch Strukturen, die einige Mikrometer hoch sind. Anwendungsdemonstration: Vermessung von Halbleiterproben.
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rubitec – Gesellschaft für Innovation und Technologie der Ruhr-Universität Bochum mbH
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Dietmar Tappe
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