Feinjustiervorrichtung
Zur Lösung dieser Aufgabe sind viele Verstellvorrichtungen und Verfahrtische mit Justagegenauigkeiten im Mikrometerbereich und darunter bekannt, die sich nicht nur durch eine hohe Präzision, sondern auch durch ein geringes Lagerspiel und eine hohe Reproduzierbarkeit in der Einstellung auszeichnen. Oft sind diese Systeme jedoch empfindlich und nicht sehr langzeitstabil. Für die Vermessung von mikrofluidischen Systemen wurde eine spezielle Justierungsvorrichtung entwickelt, welche sich nicht nur durch eine Positonierung von hoher Präzision über längere Zeiträume auszeichnet, sondern dabei in besonderer Weise auch eine hohe Steifigkeit und Unempfindlichkeit gegenüber mechanischen und thermischen Belastungen aufweist.
Auf diese Weise lassen sich Aufbauten nicht nur sehr exakt positionieren, sondern auch in vorteilhafter Weise umrüsten, ohne dass eine grundsätzliche Neujustierung erforderlich ist.
Die Feinjustiervorrichtung eignet sich für den Aufbau von Justierungssystemen für bis zu sechs Freiheitsgrade.
Dr. Andreas Weddigen
Forschungszentrum Karlsruhe GmbH
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