Optische Lithographie – ein Verfahren zur Herstellung von Mikrobauteilen und Formeinsätzen
Die Verwendung des negativ arbeitenden Photoresists EPON SU-8 ermöglicht die Herstellung von Kunststoffmikrostrukturen mit einer Strukturhöhe von mehreren 100 µm. Dabei sind Aspektverhältnisse (Verhältnis von Strukturhöhe zu Strukturdetail) im Bereich von 10 erreichbar. Die Verwendung des Photoresists EPON SU-8 ermöglicht die Herstellung von Mikrostrukturen mit nahezu senkrechten Seitenwänden mit Oberflächenrauigkeiten von kleiner 20 Nanometer.Aufgrund der exzellenten Haftung der einzelnen Resistschichten können auch stufige Mikrostrukturen durch eine serielle Beschichtung und Belichtung erzeugt werden.
Vorteile dieses Verfahrens für den Anwender sind die grosse zu strukturierende Nutzfläche (auf 6-Zoll-Basis) und der Einsatz konventioneller UV-Lithographie-Techniken. Hieraus folgen schnelle Prozesslaufzeiten für die Formeinsatzherstellung, d. h. Entwicklungsarbeiten und Herstellung von Applikationsprototypen können zeitlich eng verzahnt werden.
Dr. Manuella Werp
Forschungszentrum Karlsruhe GmbH
Stabsabteilung Marketing, Patente und Lizenzen
Hermann-von-Helmholtz-Platz 1
D-76344 Eggenstein-Leopoldshafen
info@map.fzk.de
Media Contact
Weitere Informationen:
http://www.fzk.de/fzk/idcplg?IdcService=TTB&document=ID_057082&lnode=3452Alle Nachrichten aus der Kategorie: Technologieangebote
Neueste Beiträge
Mehr als Ernährung: Die Qualität wird durch Bestäuber bestimmt
Ein neuer Blick auf die Besonderheiten von Kulturpflanze-Bestäuber-Wechselwirkungen Die Bestäubung durch Tiere trägt zu einem Drittel der weltweiten Nahrungsmittelproduktion bei, doch inwieweit die Identität von Bestäubern, Pollen und Kulturpflanzensorten die…
Enhancing Plant-Based Foods‘ Texture with Field Beans
Forschende des Leibniz-Instituts für Lebensmittel-Systembiologie an der Technischen Universität München haben erstmals untersucht, wie aus Ackerbohnen gewonnene Proteinstrukturen auf ein zelluläres Modellsystem für orale, menschliche Tastzellen wirken. Hautsinneszellen dieser Art…
Biodiversität, Klima und Lebensgrundlagen: Nachhaltige Praktiken für eine grünere Erde
Forschungsteam mit Beteiligung der Universität Göttingen ruft Politik zu mehr Handeln auf Baumkulturen – zum Beispiel Äpfel, Kirschen, Oliven, Nüsse, Kaffee und Kakao – bedecken weltweit mehr als 183 Millionen…