Simatic ECS – Automatisierungslösung für die Halbleiterindustrie

Zur Semicon Europa 2004 vom 20. – 22. April in München zeigt Siemens Automation and Drives (A&D) das Simatic Equipment Control System (ECS), eine durchgängige Automatisierungslösung für Maschinen der Halbleiterindustrie. Das ECS umfasst Hard- und Software für die Planung, Automatisierung, Inbetriebnahme und den sicheren Betrieb.

Simatic ECS eignet sich zum Konfigurieren, Inbetriebsetzen sowie zum Bedienen und Beobachten von Cluster Tools für die Halbleiterindustrie. Dabei handelt es sich um komplexe Maschinen, die aus mehreren Prozesskammern bestehen und um ein zentrales Transportsystem längs- oder kreisartig angereiht sind. So steuert Simatic ECS beispielsweise den Wafer durch die Prozesskammern. Gleichzeitig ermöglicht das Steuerungssystem mit geringem Aufwand Änderungen an einzelnen Prozesskammern und bestehenden Anlagen. Kernstück von Simatic ECS ist das Softwarepaket WinCC toolcontrol, das die branchenspezifischen Anforderungen der Maschinenhersteller wie zum Beispiel die Einhaltung der Semi-Standards berücksichtigt. Die Software realisiert steuerungstechnische Funktionen und ist die Grundlage für die Auftrags-, Rezeptur- und Programmverwaltung.

Das objektorientierte Konfigurationstool von WinCC toolcontrol ordnet Maschinenmodule, Komponenten und Aggregate in einer hierarchischen Baumstruktur: Konfiguriert wird die Maschine, indem die Bibliothekselemente per „drag and drop“ auf das Arbeitsblatt gezogen werden. WinCC toolcontrol erzeugt dabei gemäß der Parametereingabe automatisch die Hardwarekonfiguration, die Grafikoberfläche sowie System- und Alarmmeldungen. Branchenspezifische Host-Schnittstellen (z.B. SECS/GEM und EDA) ergänzen die Integrationsfähigkeit von Simatic ECS in der Fabrikautomation.