Innovationspreis geht an die NaWoTec GmbH

KfW-gesponserter Start-up-Preis für Roßdorfer Unternehmen wird am 24. Januar 2004 verliehen

Der Innovationspreis der deutschen Wirtschaft 2003 für Start-Up-Unternehmen geht an die NaWoTec GmbH. Die Roßdorfer Firma erhält die Auszeichnung für ihr Elektronenstrahl-basiertes Reparaturgerät für Lithographiemasken. Mittels dieser Erfindung können wesentliche Elemente, die zur Chipproduktion benötigt werden („Fotomasken“), repariert werden. Der von der KfW Bankengruppe gesponserte Preis wird am 24. Januar 2004 im Rahmen einer festlichen Galanacht in der Alten Oper in Frankfurt am Main überreicht.

Das Gewinner-Unternehmen NaWoTec (Nano World Technologies) GmbH wurde im Jahr 1999 gegründet. Das Kernprodukt ist ein Reparaturgerät für die Anwendung in der Halbleiterindustrie, das folgende Wirkungsweise hat: Das Gerät basiert auf einem hochauflösenden Rasterelektronenmikroskop der Zeiss Gruppe und wird mit dem patentierten NaWoTec Gasinjektionssystem ausgestattet: So können über ein komplexes Leitungs- und Ventil-System fein dosiert verschiedene Gase in den Arbeitsbereich des Elektronenstrahls injiziert werden, die dann chemische Reaktionen anstoßen. Je nach Art des verwendeten Gases können überschüssige Materialien auf den Fotomasken entfernt („geätzt“) bzw. Fehlstellen aufgefüllt werden. Der Elektronenstrahl wird dabei durch eine spezielle Steuersoftware kontrolliert. Durch den sehr kleinen Durchmesser des Elektronenstrahls (wenige Millionstel Millimeter) können extrem kleine Strukturen bearbeitet werden.

Aufgrund der immer kleiner werdenden Strukturbreiten in der Halbleitertechnik hat sich die Fehlerquote bei der Maskenherstellung stark erhöht. Gleichzeitig stiegen die Kosten für die Herstellung dieser Chip-Bauteile an. Durch das neuartige Nanostrukturierungsverfahren der NaWoTec GmbH lassen sich fehlerhafte Masken der jetzigen und zukünftigen Generation reparieren. Als einziger Anbieter dieser Technik trägt die NaWoTec GmbH so zu einem verbesserten Ertrag in der Maskenherstellung bei. Das Unternehmensziel besteht darin, in den Bereichen Halbleitertechnologie, Nanoanalytik, Mikro-Optik und Nano-Elektronik bereits im Unternehmen vorhandene und künftige Entwicklungen erfolgreich zu vermarkten. Die Vision des Teams ist es, sich in den nächsten Jahren im Bereich der Nanotechnologie eine Schlüsselstellung in der Welt zu erarbeiten und ein Teilsegment dauerhaft zu besetzen.

Für Hans W. Reich, Sprecher des Vorstandes der KfW Bankengruppe, sind Innovationen der Schlüssel zur Zukunft. Reich: „Innovationen sind die Triebfeder von technischem Fortschritt und strukturellem Wandel. Innovationen stärken die internationale Wettbewerbsfähigkeit deutscher Firmen und schaffen so zukunftsfähige Arbeitsplätze. Innovative Start-Up-Unternehmen spielen hierbei eine besondere Rolle. Sie greifen neue Technologien oftmals als erste auf und nutzen so bestehende Marktlücken. In den vergangenen zwei Jahren hat die KfW über 600 Mio EURO für kleine und mittlere Unternehmen mit zukunftsweisenden innovativen Ideen zur Verfügung gestellt.“