Fraunhofer-Einrichtung für Elektronische Nanosysteme ENAS in Chemnitz wird Institut

Immer mehr Funktionalitäten in immer kleinerem Raum zusammenzubauen, das sind die Anforderungen an die Mikroelektronik. Das ENAS ist gut gerüstet, denn seit zehn Jahren sind die Forscher dort auf die Mikro-und Nanoelektroniktechnologie, die Entwicklung hochpräziser Mikro- und Nanosysteme und Mikro- und Nanozuverlässigkeit spezialisiert.

Im Fokus der Mikro- und Nanosysteme liegen hochgenaue Sensoren, um Beschleunigung oder feinste Vibrationen zu erfassen – ideale Werkzeuge für industrielle Messungen, Navigationsaufgaben sowie medizinische Anwendungen. Basierend auf MEMS-Komponenten (MEMS steht für Micro electro mechanical system) entwickelt ein Team am ENAS gemeinsam mit nationalen Partnern Systemlösungen für das Zustands- und Umweltmonitoring, wie zum Beispiel das MEMS-Spektrometer. Es ist klein, leicht und eignet sich für den Einsatz vor Ort in der Lebensmittelkontrolle, der Überwachung von Kraftstoffen oder technischen Ölen, aber auch zur Qualitätskontrolle von Wasser.

Die erst seit 2008 eigenständige Fraunhofer-Einrichtung für Elektronische Nanosysteme ENAS konnte in den vergangenen Jahren ihre Kompetenz belegen. Nun wird sie zum 1. Januar 2011 ein selbständiges Institut. Dafür gab der Senat der Fraunhofer-Gesellschaft grünes Licht.

Mit Entwicklungen auf dem Gebiet Materialien, Prozesse und Technologien für das Leitbahn- und Kontaktsystem im Inneren von mikroelektronischen Bauelementen leisten die Forscher einen Beitrag dazu, dass künftige Prozessoren in PCs und Laptops mit kleineren Taktzeiten – also schneller – arbeiten. Ein weiterer Schwerpunkt ist die Smart-Systems-Integration: die Verbindung von Sensoren, Aktuatoren, Energiequellen und Kommunikationsschnittstellen zu intelligenten, autarken Gesamtsystemen. Die Chemnitzer Forscher überzeugten auch mit Zahlen: Von 2007 bis 2009 konnten die mittlerweile etwa 100 Beschäftigten ihren Betriebshaushalt verdoppeln – auf 6,7 Mio Euro im vergangenen Jahr. Für 2010 prognostiziert die Hochrechnung des ENAS einen Wirtschaftsertragsanteil von 37 Prozent. »Mit Konzernen wie Globalfoundries, Infineon, X-Fab und zahlreichen kleinen und mittelständischen Unternehmen ist Sachsen ein attraktiver Standort – auch nach der Insolvenz von Qimonda«, meint Thomas Geßner, Leiter der Einrichtung. »Das ENAS hat hier eine große Bandbreite von Industriepartnern – aus der Mikroelektronik, der Mikrosystemtechnik, dem Anlagenbau und der Materialherstellung.«

Damit auch weiterhin nah am Markt und an der technologischen Spitze geforscht und entwickelt werden kann, ist das ENAS in nationale Netzwerke, wie dem Fachverband für Mikrotechnik, Nanotechnologie und Neue Materialien IVAM und Silicon Saxony eingebunden. Darüber hinaus werden internationale Kooperationen gepflegt: Professor Geßner ist zum Beispiel Koordinator eines internationalen Graduiertenkollegs mit der Fudan Universität in Shanghai/China sowie Principal Investigator in der Exzellenz-initiative (WPI) an der Tohoku Universität in Sendai/Japan.