Mikrostrukturierung von Metallen: Forschung mit Oldenburger Beteiligung

Um neue Herausforderungen auf dem Gebiet der Ultrapräzisions-Mikrostrukturierung von Metallen geht es in einem Verbundprojekt, am dem auch eine Arbeitsgruppe des Physikers Prof. Dr. Joachim Peinke (Universität Oldenburg) beteiligt ist. Die interdisziplinäre Forschergruppe umfasst außerdem WissenschaftlerInnen der Universitäten Bremen und Stuttgart sowie des Bremer Instituts für angewandte Strahltechnik (BIAS). Das Projekt wird von der VW Stiftung mit insgesamt 1,5 Millionen DM gefördert, davon entfallen auf Oldenburg ca. 280.000 Mark.

Im Vergleich zur Mikrostrukturierung von Halbleitern besteht noch ein hoher Forschungsbedarf an technologischen Verfahren zur direkten Mikrostrukturierung von Metallen. Eines der wichtigsten und stetig wachsenden Anwendungsfelder ist die Herstellung von metallischen Werkzeugeinsätzen für die Mikroabformtechnik, die eine kommerzielle Produktion von Mikrostrukturen und Komponenten der Mikrosystemtechnik zu extrem niedrigen Preisen ermöglicht. Besondere Bedeutung mit einem großen Zukunftspotenzial haben hierbei etwa Anwendungen im Bereich der integriert-optischen Mikrosysteme, die z. B. Verwendung in der stark expandierenden Telekommunikationstechnik finden könnten.

In dem Forschungsprojekt sollen die physikalisch-chemischen und verfahrenstechnischen Grundlagen eines neuartigen lasergestützten, elektrochemischen Jet-Verfahrens untersucht werden. Insbesondere soll hierfür die qualitätsbestimmende komplexe nichtlineare Dynamik der thermochemischen, hydrodynamischen und elektrochemischen Prozesse experimentell und theoretisch erforscht werden. Durch eine enge Zusammenarbeit der Forschungsgruppen soll der Einfluss der stark ausgeprägten nichtlinearen, hydrodynamischen und thermoelektro-chemischen Prozesse auf die Formgenauigkeit und Oberflächengüte untersucht werden.

Kontakt: Prof. Dr. Joachim Peinke, Fachbereich Physik, Arbeitsgruppe Hydrodynamik, Tel. 0441/798-3536, E-Mail: joachim.peinke@uni-oldenburg.de

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Gerhard Harms idw

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