Für Topqualität in der Mikrosystemtechnik

Im Rahmenprogramm „Mikrosysteme“ fördert das Bundesministerium für Bildung und Forschung mit 22 Mio. Euro 13 Verbundprojekte zur Entwicklung innovativer Lösungen für die Mess- und Prüftechnik in der MST. Am 31. Mai und 1. Juni werden im CCN CongressCenter im Messezentrum Nürnberg die Zwischenergebnisse vorgestellt.

In den Herstellungstechnologien der Mikrosystemtechnik hat es in den vergangenen Jahren rasante Fortschritte gegeben. Mikrosysteme haben sich zur anerkannten Funktionskomponente in makroskopischen Systemen entwickelt. Damit wachsen auch die Anforderungen an die Qualitätssicherung, denn weder Endproduzenten noch Kunden sind bereit, aus der Makrowelt gewohnte Qualitätsstandards aufzugeben.

Die produktionsbegleitende in-line-Messung – in der Makrowelt Stand der Technik – ist bei Mikrobauteilen bislang eine Ausnahme. Viele heute gefertigte Mikrosysteme bzw. Mikrobauteile lassen sich nur zerstörend oder stichprobenartig prüfen. Eine Reihe von Messaufgaben lassen sich – wenn überhaupt nur im Labor umsetzen. Bei vielen Messaufgaben fehlen außerdem die grundlegenden Voraussetzungen für die in der Qualitätssicherung notwendige Rückführbarkeit der eingesetzten Messmittel.

Das Thema ist für den Standort Deutschland von besonderem Interesse, weil die in Deutschland ansässigen Mess- und Prüftechnik-Unternehmen erhebliche Anteile am Weltmarkt halten. Das Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF) hat darum im Innovationsfeld Systemintegration des Rahmenprogramms Mikrosysteme etwa 22 Mio. EUR über drei Jahre (Projektkosten: ca. 45 Mio. EUR) für die Förderung von 13 industriegeführten Verbundprojekten sowie einem Querschnittsprojekt bereitgestellt. Die Projekte sind Anfang 2005 gestartet. In Nürnberg präsentieren sie nun ihre ersten Ergebnisse.

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VDI/VDE Innovation + Technik GmbH
Dr. Matthias Künzel
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