Rauheit und Kontur von Bauteilen im gleichen Durchgang erfassen

Basis der digitalen Messsysteme sind hochpräzise Maßverkörperungen, die jeweils ein Laserinterferometer abtastet. Im Vorschubapparat des Hommel Nanoscan macht ein solches System einen Messhub von 24 mm mit einer Auflösung von 0,6 nm. Optional bietet ein doppellanger Tastarm einen Hub von 48 mm mit einer Auflösung von 1,2 nm. Die Horizontal- und Vertikalachsen sind ebenfalls mit hochauflösenden digitalen Maßstäben ausgestattet.

Entsprechend ihrer Funktion mit Fokus auf geometrische Maße bei der Konturenmessung, bieten diese Maßstäbe eine Auflösung von 0,1 µm über deren gesamte Länge, die in der Horizontalachse beispielsweise immerhin 200 mm beträgt. Auch der mechanische Aufbau der Achsen zeichnet sich durch hohe Präzision aus. Außerdem trägt die Präzision des interferometrischen Messprinzips zu einer hohen Linearität des Messsystems bei, die beim kombinierten Rauheits- und Konturentaster so genau ist, dass sie nicht kompensiert werden muss.

Magnetkupplung der Tastarme am Vorschubapparat erleichtert Handling und Bedienung

Neben der ergonomischen Gestaltung der Messplätze mit separaten Einheiten und einer großzügig dimensionierten Granitplatte auf aktiven Dämpfern, trägt eine Reihe von Innovationen zur Effizienz der Messplätze bei. Die Magnetkupplung der Tastarme am Vorschubapparat erleichtert Handling und Bedienung, beschleunigt das Auswechseln der Tastarme und stellt gleichzeitig einen Kollisionsschutz dar. Zudem sind die Tastarme, die in unterschiedlichster Ausprägung eingesetzt werden können, mit einem Transponder (RFID-Datenträger) ausgerüstet, was die automatische Identifikation eines Tastarms im System ermöglicht.

Mit außergewöhnlicher Performance bieten die neuen Hommel Nanoscan erheblich mehr Messmöglichkeiten als konventionelle Systeme. Es können Rauheiten nicht nur auf ebenen Flächen, für die zumindest das waagerechte Ausrichten entfällt, sondern auch auf schrägen oder gebogenen Flächen mit praktisch beliebiger Kontur gemessen werden – und das sogar gleichzeitig.