Pumpen für das Grob- und Feinvakuum

Die Baureihe kann im Bereich von Atmosphärendruck bis <1 × 10-3 mbar eingesetzt werden. Mit Standard-Pumpen-Kombinationen sind Saugvolumina bis 4000 m3/h realisierbar, höhere Saugvermögen sind ebenfalls möglich.

Die Pumpstände bestehen aus einer Kombination verschiedener Vakuumpumpen zu einer Vakuumversorgungseinheit. Eingesetzt werden Wälzkolben-Vakuumpumpen Puma oder Panda in Verbindung mit einer ölgeschmierten Drehschieber-Vakuumpumpe R 5 oder einer Schrauben-Vakuumpumpe Cobra als Vorpumpe.

Fördermedium bestimmt Auswahl der Vorpumpe

Die Wahl der Vorpumpe hängt mit dem zu fördernden Medium zusammen. Zum Fördern von Sauerstoff, reaktiven Gasen oder für den Einsatz unter Atex-relevanten Bedingungen stehen Sonderversionen zur Verfügung.

Außer Standardanwendungen wie Trocknungs- oder Entgasungsprozessen können Combi-Vakuumpumpstände bei Beschichtungsprozessen in der Metallurgie und Kunststoffindustrie, in der Photovoltaik und bei der Herstellung von Flachbildschirmen eingesetzt werden.

Die Halbleiterproduktion, die Plasma-Oberflächen-Reinigung, die Plasma-Sterilisation sowie Wärmebehandlungsöfen sind weitere Einsatzgebiete der Combi-Vakuumpumpstände.

Die Vakuumpumpen sind direkt aufeinander montiert, womit die Pumpstände kompakt und platzsparend sind. Durch die Kombinationsmöglichkeiten von Vakuumpumpen ist es möglich, den Arbeitsdruck und das Saugvermögen den Prozessbedingungen und den zu fördernden Medien exakt anzupassen. Die optimale Auslegung von Combi-Vakuumpumpständen erfolgt individuell für die Anwendung.

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