Coherence Correlation Interometry – Auswertung und Darstellung mit Weißlichtinterferometrie

Das Design des Weißlicht-Interferometers mit nur wenigen optischen Komponenten und einer (aktiven) Schwingungsdämpfung ermöglicht eine gleichmäßig ausgeleuchtete und stabile Untersuchung der Probe. Durch Einsatz einer externen Lichtquelle findet eine Wärmeentwicklung im Gehäuse nicht statt und mögliche Abbildungsfehler durch Materialexpansion können ausgeschlossen werden. Aufgrund des quadratischen CCD-Chips mit mehr als 1 Mio. Pixel sind ein optischer Zoom oder ein Objektivwechsel (Turret) nicht notwendig. Instabilitäten werden vermieden und eine zeitaufwendige Kalibrierung entfällt.

Die Genauigkeit bei der Peak- und Phasenbestimmung des schnellen CCI-Algorithmus sowie dessen präzise Steuerung des vertikalen Messbereichs (unterstützt durch das geringe Gewicht eines Einzelobjektivs) gewährleisten die hohe laterale Auflösung in X und Y sowie Z-Richtung (0,01 nm) und ermöglichen es, so die Anforderungen an Rauheitsmessungen zu erfüllen. Mit einer typischen Messzeit von nur 5 bis 20 Sekunden trägt der CCI-Algorithmus des Weiteren zu einem zeiteffizienten Probendurchsatz bei.

Anwendungsgebiete finden sich u.a. in der Optik- und Halbleiterindustrie sowie in der Automobilindustrie.

Das System wird im Rahmen der Sonderschau „Berührungslose Messtechnik“ anlässlich der Control 2008 in Stuttgart, 22. bis 25. April, in Halle 1, Stand 1626, vorgestellt. Die Sonderschau will einen Beitrag zur Verbreiterung der Akzeptanz berührungsloser Messtechnik leisten, indem an einigen ausgewählten Exponaten die Konstruktionsprinzipien, Eigenheiten und Grenzen der neuen Messmöglichkeiten demonstriert werden. Die Sonderschau findet mit Unterstützung der P. E. Schall GmbH, den Mitgliedern des Control-Messebeirats und der Fraunhofer-Allianz Vision statt.

Die Fraunhofer-Allianz Vision ist ein Zusammenschluss von Fraunhofer-Instituten zu den Themen Bildverarbeitung, optische Inspektion und 3-D-Messtechnik, Röntgenmesstechnik und zerstörungsfreie Prüfung.

Fachliche Anfragen:
Ametek GmbH, Geschäftsbereich Taylor Hobson
Dipl.-Phys. Carsten Batz
Kreuzberger Ring 6
65205 Wiesbaden
Telefon: +49 611 97304-0
Fax: + 49 611 97304-600
E-Mail: carsten.batz@ametek.de
Pressekontakt:
Fraunhofer-Allianz Vision
Regina Fischer M. A.
Am Wolfsmantel 33
91058 Erlangen
Telefon: +49 9131 776-530
Fax: +49 9131 776-599
E-Mail: vision@fraunhofer.de

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