Vorrichtung und Verfahren zur interferometrischen Abstandsbestimmung
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Abstandsbestimmung mittels eines interferometrischen Sensors. Der Sensor fokussiert Licht auf einen Punkt des Messobjektes. Dieses Licht wird zumindest teilweise in den Sensor zurückreflektiert, hinsichtlich seiner Phasenlage analysiert und in einen Abstandswert umgerechnet. Durch laterales Scannen des Messobjektes relativ zum Sensor lassen sich Mikrostrukturen und Formen mit hoher Genauigkeit erfassen. Da mehrere hunderttausend Abstandsmesswerte pro Sekunde ermittelt werden, können sehr hohe Messgeschwindigkeiten erzielt werden.
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Dr. Heike Krömker
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