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AMD Saxony unterstützt die TU Dresden mit 10.000 Euro

04.11.2003


Die Qualität von Forschung und Lehre an der TU Dresden (TUD) wird von der Wirtschaft zunehmend anerkannt. Zum Tag der Fakultät Elektrotechnik und Informationstechnik (ETI) der TUD übergibt AMD Saxony eine Spende von 10.000 Euro, die für eine technische Vorrichtung vorgesehen ist, mit der das Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik der TU Dresden seine Untersuchungen und Entwicklungen besser am Industriestandard orientieren kann.



Dieses Institut beschäftigt sich bereits seit längerem mit der Kupfertechnologie in Integrierten Schaltkreisen. Ein Schlüsselprozess hierzu ist das sogenannte Chemisch Mechanische Polieren. Das Institut besitzt Anlagen, mit denen sich diese Prozesse durchführen lassen. Jedoch konnten diese Geräte bisher nicht die industrieüblichen 200 mm Wafer handhaben.

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Die Spende von AMD ermöglicht jetzt die Erweiterung der technischen Einrichtung auf diesen Standard. Hierdurch wird das Institut in die Lage versetzt, innerhalb ihrer Forschungsprojekte in noch engere Kooperation mit Industriepartnern zu treten.

Weiterhin werden zum Tag der Fakultät ETI mit dem SAJA-Preis, dem Bosch-Preis und dem Johannes-Görges-Preis der ABB Deutschland drei Ehrungen für jeweils herausragende Diplomarbeiten sowie mit dem Heinrich-Barkhausen-Preis der Carl Friedrich von Siemens Stiftung eine Auszeichnung für eine hervorragende Dissertation vergeben.

Den Festvortrag hält Stefanos Fasoulas, Professor für Raumfahrtsysteme und Raumfahrtnutzung, zum Thema "Mission zum Mars".

Birgit Berg | idw
Weitere Informationen:
http://www.tu-dresden.de

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